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깊이불연속 형상 측정을 위한 레이저 응용 하이브리드 초점법
A Laser-Applied Hybrid Focus Method for the Measurement of a Surface Morphology with Depth Discontinuity 원문보기

한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.23 no.9 = no.186, 2006년, pp.111 - 118  

김경범 (충주대학교 항공.기계설계학과) ,  신영수 ((주) 인텍플러스) ,  문순환 (주성대학 테크노정보과)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

A hybrid focus method with multiple laser slits is newly proposed for the measurement of surface morphology with depth discontinuity, and it is based on the integration of DFB and DFF. Rough depth information is estimated through calibration tables which are constructed by DFD with multiple laser sl...

주제어

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문제 정의

  • 있다.2 본 연구에서는 깊이불연속에서의 효율적인 측정을 위해 레이저 응용 하이브리드 초점 기반 DFD와 DFF의 통합시스템을 시도하고자 한다. DFD는 측정물의 깊이 방향에 따라 대상물의 비초점된 번짐 정도를 가지고 깊이를 추정하는 방법으로 2개 이하의 영상을 필요로 하며, 이 방법은 측정속도는 빠르지만 낮은 측정 정확도를 가진다.
  • 본 논문에서는 깊이불연속에서의 정확하고 빠른 측정을 위해 DFD의 빠른 측정속도와 DFF의 높은 측정 정확성의 장점을 갖춘 레이저 응용 하이브리드 시스템을 시도하고자 한다. 제안된 방법은 다중 레이저 슬릿광을 물체 위에 조사하여 레이저 선폭의 변화를 측정함으로써 보정 테이블을 통해 깊이를 추정하는 방법으로써, 한 장의 영상을 필요로하며 라인 빔의 수가 많을수록 전 영역에 걸쳐 보다 정밀하게 측정 할 수 있다.
  • 나타난다. 본 논문에서는 다중 레이저 슬릿광을 물체 위에 조사하여 레이저 선폭의 변화를 측정함으로써 깊이를 추정하는 방법을 제안하였다. 이것은 한 장의 이미지를 취득하여 깊이를 추정하는 방법으로 라인 빔의 수가 많을수록 전 영역에 걸쳐 보다 정밀하게즉정을 할 수 있다.
  • 최종적으로, 영상 각 점의 초점정도 F(0, »는 수정된 라플라시안값들의 합으로 다음과 같이 구할 수 있는데, 理 임계값을 의미한다. 본 논문에서는 보정 테이블을 통한 대략적 깊이 추정후, 선형배율보정을 통한 DFF방식'지3을 사용하여 하이브리드 초점법을 개발하고자 한다. 이 DFF는 배율의 변화를 고려한 영상보정을 통해 다른 방식에 비해 우수한 결과를 주는 방식 이다.
  • 본 연구에서는 깊이불연속이 존재하는 3차원 형상 측정을 위해 레이저 응용 하이브리드 초점 법을 새롭게 제안하였다. 제안된 방법은 다중 레이저슬릿을 이용하고 이에 대한 하이브리드 초점 특성을 사용함으로써, DFD와 DFF의 장점은 더욱 개선시키고 단점을 보완할 수 있다.
  • 깊이를 추정하는 방법이다. 여기서, 추정된 깊이는 DFD 및 DFF 보다 정 확하고 측정속도는 DFF보다 빠른 장점을 갖는 방법을 시도하고자 하였다. Fig.
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참고문헌 (14)

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  3. Park, H. J. and Ahn, W. J., 'A New Method of Noncontact Measurement for 3D Microtopography in Semiconductor Wafer Implementing a New Optical Probe based on the Precision Defocus Measurement,' J. of KSPE, Vol. 17, No.1, pp. 129-137, 2000 

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  12. Kim, G. B. and Shin, Y. S., 'A Measurement Method of Three-Dimensional Surface Morphology Based on Depth-from-Focus through Linear Magnification Calibration,' J. of KSPE, Vol. 22, No.9, pp, 115-122, 2005 

  13. Kim, G. B. and Shin, Y. S., 'A Measurement Method of Surface Morphology Based on Depth-from-Focus with Magnification Variations of Optical System,' Proc. of KSPE Autumn Annual Meeting, Vol.21, No. 10, pp, 1500-1503, 2004 

  14. Kim, G. B. and Shin, Y. S., 'A Hybrid Focus Method Using Multiple Laser Slits,' Proc. of KSPE Autumn Annual Meeting, Vol.22, No. 10, pp, 706-709, 2005 

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