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[국내논문] 계측용 렌즈 원문보기

광학세계 = The optical journal, no.103 = no.103, 2006년, pp.41 - 50  

한국광학기기협회 (한국광학기기협회)

초록

렌즈를 계측해 이용하는 역사는 오래 되었으며, 그 응용 범위도 상당히 넓다. 광을 사용함으로써 비접촉 및 비파괴로 측정 대상물을 그대로 유지하면서 정보를 얻는 광의 직진성 및 고속 전파성을 이용할 수 있으며, 파장을 기준으로 한 계측이 가능함과 동시에, 특히 렌즈는 대상물의 정보를 결상에 의해 공간적으로 이동할 수 있다는 장점을 가져 각종 계측 기기에 폭 넓게 사용되고 있다. 본 고에서는 렌즈 응용 기기에 사용하는 렌즈를 분류한 후, 계측과 관련된 렌즈를 계측용 렌즈로 채택하여 그 현상과 동향을 정리하며, 요소 기술로서 렌즈 설계 및 제작 전반과 관련된 공통 기술 과제를 몇 가지 채택하여 로드맵으로 만들었다.

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제안 방법

  • 광학 설계는 사양으로 설정된 초점 거리, 화각(畵角), NA 등의 기능, 왜곡 수차, OTF 등의 성능, 레이아웃, 온도, 사용 파장 등의 경계 조건을 만족시키면서 플레어, 고스트 등의 노이즈를 제거하도록 구성한다. 광학 설계 자체는 광선 추적, 평가, 상 개선 공정으로 크게 나뉘는데, 이들은 컴퓨터를 사용하여 행해진다.
  • 결정해 간다. 광학 제품의 생산성 향상을 위하여 제조 공정을 계산기 내에 구축하고, 설계 단계에서 양산시의 광학 성능, 양산성 및 공차 감도를 정량 평가할 수 있는 시뮬레이션으로 가상 양산 테스트 시스템을 구성하여 발생되는 문제를 설계시 정량 평가한다. 경통 광학 제품에서 의 통계적 공차 설계 시스템이 사용되고 있으며, 품질 공학의 허용차 설계를 사용하여 생산을 고려한 공차 해석 등도 앞으로 더욱 발전되어 갈 것이다.
  • 일반적인 렌즈에 공통되는 기술이다. 렌즈의 설계 제작에 관한 요소 기술로서 광학 재료, 설계 및 평가법, 기구 설계, 성능평가를 채택하였다.
  • 비접촉 3차원 디지타이저로서 3차원 계측에 사용하기 때문에 슬릿 형상의 레이저광으로 측정 대상을 주사하고, 그 반사광을 렌즈를 장착한 CCD 카메라로 받아 삼각 거리 측정의 원리로 대상물과의 거리 정보를 얻는다. 렌즈 자체는 왜곡 수차를 보정한 렌즈가 사용된다.
  • 스테이지의 이동에 의한 측정을 조합하여, 렌즈의 시력보다 넓은 범위를 계측하는 2차원 영상 측정기가 출현했으며, 나아가 오토 포커스에 의한 초점 위치 정보를 불러들여 Z축 측정을 포함시킴으로써 3차원 영상 측정기가 탄생하였다.

대상 데이터

  • 2차원 영상 입력으로서의 스캐너에 사용하는 렌즈로서, 스캐너로 입력한 영상을 사용하여 계측에 이용한다. 스캐너식 리소그래피 장치도 동일한 기능을 갖는다.
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