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NTIS 바로가기센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society, v.16 no.3, 2007년, pp.197 - 201
정귀상 (울산대학교 전기전자정보시스템공학부) , 온창민 (울산대학교 전기전자정보시스템공학부) , 남창우 (울산대학교 전기전자정보시스템공학부)
The magnetron reactive ion etching (RIE) characteristics of polycrystalline (poly) 3C-SiC grown on 주제어
P. M. Sarro, 'Silicon carbide as a new MEMS technology', Sensors & Actuators A, vol. 82, pp. 210-218, 2000
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S. Roy, C. Zorman, M. Mehregany, R. Deanna, and C. Deeb, 'The mechanic! properties of polycrystalline 3C-SiC films grown on polysilicon substrates ?by atmospheric pressure chemical-vapor deposition', J. Appl. Phys., vol. 99, p. 44108, 2006
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