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NTIS 바로가기韓國海洋工學會誌 = Journal of ocean engineering and technology, v.21 no.1 = no.74, 2007년, pp.59 - 63
윤한기 (동의대학교 기계공학과) , 김도형 (동의대학교 대학원 기계공학과) , 신도훈 (토쿠시마대학 기계공학과)
The thin film of indium tin oxide (ITO) was prepared using the inclination opposite target type DC magnetron sputtering equipment onto the glass substrate at room temperature, using oxidized ITO with In2O3 and SnO2in a weight ratio of 9:1. The elastic modulus and hardness of the ITO thin films, prep...
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