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NTIS 바로가기전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, v.20 no.5, 2007년, pp.436 - 442
김성엽 (경남대학교 전자공학과) , 이지공 (경남대학교 전자공학과) , 장중원 (경남대학교 전자공학과) , 이성필 (경남대학교 전자공학과)
Physical properties and impedance-humidity characteristics of carbon nitride films were investigated for micro-humidity-sensors. Carbon nitride films were deposited in low temperature and low power for application of semiconductor fabrication process, and empirical equation was proposed for thicknes...
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