최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기한국소음진동공학회논문집 = Transactions of the Korean society for noise and vibration engineering, v.17 no.8 = no.125, 2007년, pp.726 - 735
백재호 (RMS테크놀러지(주)) , 이홍기 (RMS테크놀러지(주)) , 손성완 (RMS시스템(주)) , 전종균 (선문대학교 기계공학부)
Inside the factory buildings of aprecision industry (which produces semiconductors or TFT-LCD), thousands of vibration-sensitive precision equipments operate in the clean rooms. Various utility equipments that are installed around them for proper operation cause various sources of noise and of vibra...
Amick, H., 2005, 'Semiconductor Manufacturing Handbook', Mcgraw-hill, United States of America, pp. 39.1-39.2
Gendreau, M., 1999, 'Environmental Noise Control for Semiconductor Manufacturing Facilities', Proceedings of Internoise 99
Baek, J.-H., Park, H.-D., Im, J.-B. and Ryu, K.-H., 2006, 'A Study on the of Influence to Precision Equipment by Utility Vibration of TFT-LCD Fab'. Proceedings of the KSNVE Annual Spring Conference, pp. 886-892
Gordon, C. G., 1996, 'Vibration Prediction and Control in Microelectronics Facilities', Proceedings of Internoise 96, pp. 149-154
B&k, Inc, 'Pulse Manual', B&k, Inc, Korea
B&k, Inc, 'Frequency Analysis(3rd edition)', B&k, Inc
*원문 PDF 파일 및 링크정보가 존재하지 않을 경우 KISTI DDS 시스템에서 제공하는 원문복사서비스를 사용할 수 있습니다.
Free Access. 출판사/학술단체 등이 허락한 무료 공개 사이트를 통해 자유로운 이용이 가능한 논문
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.