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주사 전자현미경의 이미지 해상도 향상을 위한 방안 및 실험적 검증
Methodologies and Verifications for Enhancing Resolution of a Scanning Electron Microscopy 원문보기

한국공작기계학회논문집 = Transactions of the Korean society of machine tool engineers, v.16 no.5, 2007년, pp.122 - 128  

김동환 (서울산업대학교 기계설계자동화공학부) ,  김영대 (서울산업대 나노생산기술연구소) ,  박만진 (서울대학교 기계항공공학부) ,  장동영 (서울산업대학교 산업정보시스템공학과) ,  박근 (서울산업대학교 기계설계자동화공학부)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

The electric part of thermal SEM(Scanning Electron Microscopy) consists of high voltage generation, lens control, and image processing. Several methodologies for enhancing SEM image are addressed and those results are verified through analyses and experiments. The controller employes a DSP(Digital S...

주제어

#전자 주사 현미경   #이미지 왜곡   #노이즈 제거   #이미지 향상   #렌즈 제어   #실험 검증  

AI 본문요약
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문제 정의

  • 본 연구는 전장부의 통합과 함께 이미지의 초점과 배율을향상시키기 위하여 대물렌즈, 집속렌즈 및 주사코일의 전류제어 시의 접지 및 전원 관리와 그것이 이미지에 미치는 영향에 관하여 실험하여 접지(earth) 및 기저신호(ground), 그리고 전원의 관리가 이미지에 커다란 영향을 미친다는 것을 확인하였다.
  • 본 연구에서는 열전자 방출형 전자현미경의 가장 핵심적 인부분이라 할 수 있는 전자빔을 가속시키는 고압부의 제어를 별도의 제어기를 사용하지 않고, DSP를 이용하여 렌즈의 제어부와 통합시킴으로써 전장부 회로의 단순화의 가능성을 확인하였다. 이러한 요인은 편리성을 향상시키기도 하지만 전자현미경의 해상도를 증대시키는데 때로는 장애가 될 수 있다.
  • 본 연구의 목적은 제어부의 단순화 및 이미지 해상도 확보에 있으며, 제어부의 단순화는 시스템에 대한 충분한 이해를 근거로 사용자 인터페이스가 편리할 수 있도록 계속적인 설계 보완을 진행해야 하며, 현재 사용 중인 여러 종류의 노이즈제거 기술(RC 필터, 조벨 필터, 댐퍼, Snuber 등)습득 및 적용을 선행해야 하며, 시스템에 대해서 최적화해야 함을 알 수 있었다.
  • 이미지의 개선을 위하여 노.이즈의 종류를 분석하여 그 각각에 대한 대책을 세움으로써 궁극적으로 시스템에 대한 전체적인 노이즈 대책을 세우기 위하여 세분화하여 보았다.
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참고문헌 (6)

  1. Orloff, J., 2004, Handbook of Charged Particle Optics, CRC Press 

  2. Lee, R. E, 1993, Scanning Electron Microscopy and X-Ray Microanalysis, PTR Prentice Hall 

  3. Reimer, L., 1998, Scanning Electron Microscopy - Physics of Image Formation and Microanalysis, Springer, Berlin 

  4. Millman, J. and Grabel, A, 'Microelectronics, second edition,' Large-Signal Electronics Power Circuits and Systems, Vol. 17, pp. 773-812 

  5. Kang, H. B. and Lee, J. A, 'Electromagnetic Theory,' Electromagnetic Induction, Vol. 12, pp. 287-299 

  6. Park, K. Park, M. J., Kim, D. H. and Jang, D. Y., 2006, 'Numerical analysis for electron optical system of a field emission SEM,' Trans. Kor. Soc. Mech. Engr. (A), Vol. 30, pp. 1577-1583 

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