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MEMS 기술로 제작된 가스 센서 어레이를 이용한 유해가스 분류를 위한 간단한 통계적 패턴인식방법의 구현
Implementation of simple statistical pattern recognition methods for harmful gases classification using gas sensor array fabricated by MEMS technology 원문보기

센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society, v.17 no.6, 2008년, pp.406 - 413  

변형기 (강원대학교 삼척캠퍼스 정보통신공학과) ,  신정숙 (강원대학교 삼척캠퍼스 정보통신공학과) ,  이호준 (세주엔지니어링) ,  이원배 (세주엔지니어링)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

We have been implemented simple statistical pattern recognition methods for harmful gases classification using gas sensors array fabricated by MEMS (Micro Electro Mechanical System) technology. The performance of pattern recognition method as a gas classifier is highly dependent on the choice of pre...

주제어

AI 본문요약
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제안 방법

  • MEMS기술을 이용하여 제작된 가스센서 어레이 플랫폼을 이용하여 측정되어진 감지가스들의 신호들은 개별센서 및 센서 어레이 신호들의 전 처리 과정을 통하여 감지가스들의 특성을 잘 표현한 특정패턴으로 만들었고 주성분 분석법과 다변량 선형회귀 알고리즘을 이용하여 감지가스들의 분류 및 추정이 가능하였다. 이러한 실험결과를 통하여 앞으로 제작되어질 가스센서 어레이를 탑재한 센서모듈은 자동차 유해가스 유입제어시스템 등 가스 센서어레이 플랫폼을 이용한 실시간 유해가스 감지시스템의 구현이 가능하여 질 것이다.
  • 또, 4개의 MFC에 다른 종류의 가스들을 여러 가지 농도로 조절하여 공급하면서 가스분위기를 제어할 수 있다. 가스에 따른 센서들의 출력은 DAQ(data acquisition) System을 통하여 획득되어지며, 획득된 센서신호들의 검지가스에 따른 분류 및 인식을 위한 패턴인식방법의 효율성을 증대하고자 각각의 센서신호뿐만 아니라 센서 어레이 신호를 전처리 기법을 적용하여 측정되어진 원 데이터들이 감지가스의 특성을 잘 표현하도록 하였다.
  • 접촉 연소식 센서는 Pellistor type으로 온도 및 습도의 영향이 적어 신뢰성이 우수하고 출력이 선형적이란 장점을 갖고 있지만 히터의 고온동작과 감지체의 열화가 사용하는데 걸림이 될 수도 있다. 그러나 본 연구에서는 접촉 연소식 센서는 간혈적으로 사용함으로서 전력손실 및 감지체의 열화 등을 제거하였다.
  • 본 연구에서는 1차적으로 접촉 연소식 센서(감지소자+보상소자), 반도체식 CO센서, 반도체식 NOX센서, 반도체식 H2S 센서, 그리고 통상적 가스에 모두 반응하는 반도체식 센서 등 5개의 센서로 구성된 센서 어레이를 제작하였다(그림 2).
  • 가스 분류기로서의 패턴인식방법의 성능은 센서 및 센서 어레이 신호들에 대한 적절한 전 처리(pre-processing) 기법의 선정 및 다양한 분류(classification)기법들 가운데 최적의 분류 알고리즘의 선택에 좌우된다. 본 연구에서는 각각의 가스들에 대한 특성패턴들을 검출하기위하여 각 센서신호 뿐만 아니라 센서 어레이 신호들에 대하여 전 처리기법을 적용하였고, 가스들의 분류를 위하여 간단한 통계적 패턴인식 알고리즘들인주성분 분석법(principal component analysis : PCA)을 적용하여 각 가스패턴들의 종류에 따른 클러스터링(clustering)을 직접 눈으로 확인하였다. 또한, 실시간으로 유해가스를 분류 할 수 있는 가스검지 시스템의 구현을 위하여 다 변량 선형 회귀법(multi-linear regression: MLR)방법을 사용하였다.
  • 이를 위한 첫 번째 연구로 MEMS 기술을 이용하여 제작되어진 유해가스들을 검지할 수 있는 가스센서들로 이루어진 센서 어레이를 구현하고 이를 통하여 검지되는 신호들을 처리하여 유해가스들을 구별할 수 있는 유해가스 인식시스템을 간단한 통계적 패턴인식기법들을 사용하여 구현하였다.
  • 제작되어진 가스센서 어레이 플랫폼을 이용하여 유해가스들을 측정하였고 측정시스템은 그림6에서 보이는 것처럼 2개의 MFC(mass flow controller)를 통하여 습도를 0~90 %까지 조절 할 수 있으며, −55−+80 ℃의 온도를 제어할 수 있다.
  • 가운데 본 연구에서는 검지가스들의 분류 및 인식을 위하여 간단한 통계적 패턴인식 알고리즘인 주성분 분석법을 적용하여 각 가스패턴들의 감지가스 종류에 따른 분류 가능성을 직접 눈으로 확인하였으며, 또한 가스센서 어레이 플랫폼을 통한 실시간 유해가스를 인식 할 수 있는 유해가스 검지시스템을 구현하기 위하여 다변량 선형 회귀법을 사용하였다. 주성분 분석법[7]을 이용하여 5개의 가스센서들로 구성된 센서 어레이에서 획득되어진 가스 데이터들의 분포(distribution)를 5차원에서 2차원으로 차원 축소(dimensional reduction)를 통하여 평면상에 표시(visualization)하여 이들이 4개의 Class로 잘 분류되는 지를 확인하였다. 4개의 가스들에 대하여 4~5번의 반복실험을 통하여 데이터를 획득하였으며 총 19개의 가스패턴들을 주성분 분석법을 이용하여 분류하였고 그 결과 그림 8에서 보여 지는 것처럼 19개의 데이터 패턴들이 4개의 Class로 잘 분류가 되어지고 있음을 눈으로 확인 할 수 있다.

대상 데이터

  • 2. Sensor array platform consisted by 5 different gas sensors and its package.
  • 제작된 플랫폼은 2.5 mm×4.5 mm의 실리콘 기판 위에 600 µm×600 µm의 면적을 갖고 깊이가 200 µm인 깊게 파인 홈 구조인 8개의 캐비티와 800 µm×800 µm의 면적을 갖는 깊이가 200 µm인 2개의 캐비티가 형성되어있다.

이론/모형

  • 같은 조건으로 실시간 유해가스 검지시스템 구현이 용이한 다변량 선형 회귀법[4]을 이용하여 검지된 가스들을 인식 할 수 있는지 추정하였다. 앞에서 제안된 주성분 분석법이 비 교사학습(unsupervised leaning)방법으로 진행되어진 반면 다변량 선형 회귀법은 교사학습(supervised learning)방법을 이용하여 진행되어졌다.
  • 다양한 패턴인식 알고리즘들[5,6] 가운데 본 연구에서는 검지가스들의 분류 및 인식을 위하여 간단한 통계적 패턴인식 알고리즘인 주성분 분석법을 적용하여 각 가스패턴들의 감지가스 종류에 따른 분류 가능성을 직접 눈으로 확인하였으며, 또한 가스센서 어레이 플랫폼을 통한 실시간 유해가스를 인식 할 수 있는 유해가스 검지시스템을 구현하기 위하여 다변량 선형 회귀법을 사용하였다. 주성분 분석법[7]을 이용하여 5개의 가스센서들로 구성된 센서 어레이에서 획득되어진 가스 데이터들의 분포(distribution)를 5차원에서 2차원으로 차원 축소(dimensional reduction)를 통하여 평면상에 표시(visualization)하여 이들이 4개의 Class로 잘 분류되는 지를 확인하였다.
  • 본 연구에서는 각각의 가스들에 대한 특성패턴들을 검출하기위하여 각 센서신호 뿐만 아니라 센서 어레이 신호들에 대하여 전 처리기법을 적용하였고, 가스들의 분류를 위하여 간단한 통계적 패턴인식 알고리즘들인주성분 분석법(principal component analysis : PCA)을 적용하여 각 가스패턴들의 종류에 따른 클러스터링(clustering)을 직접 눈으로 확인하였다. 또한, 실시간으로 유해가스를 분류 할 수 있는 가스검지 시스템의 구현을 위하여 다 변량 선형 회귀법(multi-linear regression: MLR)방법을 사용하였다.
  • 을 이용하여 검지된 가스들을 인식 할 수 있는지 추정하였다. 앞에서 제안된 주성분 분석법이 비 교사학습(unsupervised leaning)방법으로 진행되어진 반면 다변량 선형 회귀법은 교사학습(supervised learning)방법을 이용하여 진행되어졌다. 학습 후 얻어진 가중치들을(weights) 이용하여 간단하게 실시간으로 감지가스를 추정 할 수 있었다.
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질의응답

핵심어 질문 논문에서 추출한 답변
반도체식 가스센서 중 단일 센서 형태로 제작 판매되는 센서들은 어떠한 문제점들이 존재하는가? 가스센서기술은 여러 가지가 있지만 현재까지 차량 내부 유해가스 유입제어 시스템에 적용되는 센서들은 주로 반도체식이며, 반도체식 가스센서들은 정확성이나 선택성에 있어 많은 단점은 있지만 탁월한 경제성과 내구성을 갖추고 있다. 현재 단일 센서의 형태로 제작 판매되는 반도체식 센서로는 Figaro[2], FIS[3] 등이 주도하고 있으나 이들은 벌크형 가스센서로 제조공정이 복잡하고 제품가격이 높을 뿐 아니라 신호처리 등의 On-chip화의 어려움이 있고 지능형 및 센서 어레이 구성이 매우 어렵고 또한 소모전력 등이 매우 높다.
가스 분류기로서의 패턴인식방법의 성능은 무엇에 좌우되는가? 가스 분류기로서의 패턴인식방법의 성능은 센서 및 센서 어레이 신호들에 대한 적절한 전 처리(pre-processing) 기법의 선정 및 다양한 분류(classification)기법들 가운데 최적의 분류 알고리즘의 선택에 좌우된다. 본 연구에서는 각각의 가스들에 대한 특성패턴들을 검출하기위하여 각 센서신호 뿐만 아니라 센서 어레이 신호들에 대하여 전 처리기법을 적용하였고, 가스들의 분류를 위하여 간단한 통계적 패턴인식 알고리즘들인주성분 분석법(principal component analysis : PCA)을 적용하여 각 가스패턴들의 종류에 따른 클러스터링(clustering)을 직접 눈으로 확인하였다.
반도체식 가스센서는 어떠한 장단점이 존재하는가? 가스센서기술은 여러 가지가 있지만 현재까지 차량 내부 유해가스 유입제어 시스템에 적용되는 센서들은 주로 반도체식이며, 반도체식 가스센서들은 정확성이나 선택성에 있어 많은 단점은 있지만 탁월한 경제성과 내구성을 갖추고 있다. 현재 단일 센서의 형태로 제작 판매되는 반도체식 센서로는 Figaro[2], FIS[3] 등이 주도하고 있으나 이들은 벌크형 가스센서로 제조공정이 복잡하고 제품가격이 높을 뿐 아니라 신호처리 등의 On-chip화의 어려움이 있고 지능형 및 센서 어레이 구성이 매우 어렵고 또한 소모전력 등이 매우 높다.
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참고문헌 (7)

  1. J. Gardner and P. Bartlett, "Electronic noses principals and application", Oxford University Press, 1999 

  2. www.figarosensor.com 

  3. www.fisinc.co.jp 

  4. T.C. Pearce, S.S. Schiffman, H.T. Nagle and J.W. Gardner, "Handbook of machine olfaction", Wiley 2003 

  5. 변형기, 이준섭, 김정도, "필드스크린을 위한 휴대용 전자코 시스템의 구현", 센서학회지, 제13권, 제1호, pp.1-10, 2004 

  6. 김정도, 변형기, 함유경, "PDA를 이용한 휴대용 Electronic Nose 시스템 개발", 센서학회지, 제13권, 제6호, pp. 454-461, 2004 

  7. H.G. Byun, K.C. Persurd, S.M. Khrffaf, P.J. Hobbs, and T.H. Misselbrook, "Application of unsupervised clustering methods to be assessment of malodour in agriculture using an array of conducting polymer odor sensor", Computer and Electronics in Agriculture, vol. 17, pp. 233-247, 1997 

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