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[국내논문] 이온 플레이팅용 장수명 플라즈마 건 장치의 개발
Development of a Plasma Gun System for Ion Plating with Long Lifetime 원문보기

전기학회논문지 = The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers, v.57 no.1, 2008년, pp.78 - 81  

최영욱 (한국전기연구원)

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A hollow cathode which has extremely stable discharge characteristic has been developed. This is composed of the two separated lanthanum hexaboride(LaB6) of a disk type in the tube as the electron emitters. The way of design is of great advantage to extend the surface discharge area of the LaB6, whi...

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문제 정의

  • 그러므로 본 연구에서는 LaB6 부분의 음극의 내구성 설계기술과 중간전극의 설계도 동시에 고려하여 장시간 안정적으로 운전할 수 있는 플라즈마 빔 발생장치의 개발에 역점을 두었다. 구체적으로는 탄소 대신 텅스텐을 사용하여 중간전극의 내구성 기술문제를 해결하는 데 많은 역점을 두었다.
  • 본 연구에서는 대면적 고속 증착이 가능한 이온 플레이팅 장치에 적용하기 위해 중공 음극형 플라즈마 건과 중간전극을 30 kW급에서 사용할 수 있도록 관련기술 재료의 기초적 자료를 활용하여 설계 및 제작하고 500 시간을 운전 후 상태를 점검한 결과 거의 손상이 없는 결과를 얻었다. 그러므로 본 개발연구에서는 기존의 탄소를 사용한 플라즈마 건 시스템의 수명의 한계를 극복하고 기존보다 최소한 20배의 수명이 향상된 이온 플레이팅 장치의 기술 발전에 일조를 하였다고 사료된다.
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참고문헌 (10)

  1. J. M. Lafferty, "Boride Cathodes," J. Appl. Phys., vol. 22, no. 3, pp. 299-309, 1951 

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  7. Mattox, D.M., "Ion plating-past, present and future," Surface & coatings technology, vol. 133/134, pp. 517-521, 2000 

  8. Yagodkin, Y.D., Pastuhov, K.M., Muboyadjyan, S.A., "Electron-beam and ion-beam treatment of protective coatings produced by ion plating," Surface & coatings technology, vol. 93, no. 2/3, pp. 327-330, 1997 

  9. J. R. Pierce, "Theory and Design of ELECTRON BEAMS," D. VAN NOSTRAND COMPANY, INC., Chapter 4, 1949 

  10. The Industrial Graphite Engineering Handbook, Union Carbide Corporation, 1969 

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