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논문 상세정보

Abstract

Axis of rotation error on rotary system are significant; such as the spindle radial error motion of a aligner, wire bonder and inspector machine which results in the poor state of manufactured goods. In this paper, the simple stage which consists of one PZT actuator and rotary encoder, is analyzed and measured by high resolution capacitance type displacement sensor. As the result of experiment, the paper discusses several issues that must be considered when designing rotary stage driven by PZT.

참고문헌 (6)

  1. Donaldson, R. R., 1972, 'A Simple Method for Separating Spindle Error from Test Ball Roundness Error,' CIRP-Annals, Vol. 21/1, pp. 125-126 
  2. Rouchard, G., and Lau, L., 1987, 'An Investigation Of Non-Repeatable Spindle Runout.,' IEEE Transactions on Magnetics, Vol. MAG-23, No. 5, pp. 3687-3689 
  3. ANSI/ASME B89.3.4M., 1985, Axes of Rotation: Methods for Specifying and Testing Standard, pp. 1-70 
  4. Spragg, R. C., and Whitehouse, D. J., 1970, 'New unified approach to surface metrology,' J. of Proc Inst. Mech. Engrs., Vol. 185, pp. 697-707 
  5. Yun, D., 2005, 'Development of Manipulator for Handling Micro Components in Vacuum' KSMTE Spring Conference 2005, pp. 40-44 
  6. Whitehouse, D. J., 1976, 'Some Theoretical Aspects of Error Separation Techniques in Surface Metrology,' J. of Phys. E: Sci. Inst., Vol. 9, No. 7, pp. 531-536 

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