최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기열처리공학회지 = Journal of the Korean society for heat treatment, v.21 no.1, 2008년, pp.26 - 32
박수대 (충북대학교 공과대학 신소재공학과) , 백창현 (충북대학교 공과대학 신소재공학과) , 홍주화 (충북대학교 공과대학 신소재공학과)
Effects of annealing treatment on microstructure and mechanical property of co-sputtered TiNi thin films were studied. As-deposited films showed amorphous state. However, above annealing temperature of 주제어
* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.
핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
---|---|---|
벌크형 TiNi 합금의 단점은? | TiNi 형상기억합금은 1960년대 소개된 이후 열구동 소자 등으로 다양하게 이용되고 있다[1, 2]. 벌크형 TiNi 합금은 낮은 냉각속도로 인한 느린 응답속도가 문제점으로 지적되어 왔으나 근래에는 합금의 박막화를 통하여 문제점을 해결하려는 연구가 진행되고 있다. 또한 MEMS 기술에 관한 연구가 활발하게 되면서 TiNi 박막의 미세조직 및 기계적 특성을 개선하여 마이크로 액츄에이터로의 실용화에 근접하고 있다. | |
TiNi 박막의 제조에 사용되는 방법은? | TiNi 박막의 제조에는 스퍼터링법[4], PLD법[5], CAIP법[6] 등이 이용되고 있으나 현재 스퍼터링법이 가장 많이 이용되고 있다. 본 연구에서는 박막 TiNi 합금의 실용화를 위한 전단계로서 co-sputtering한 박막의 미세조직에 미치는 열처리 효과를 실험하고자 하였다. | |
TiNi 박막 제조 후 어닐링 열처리를 할 때 온도가 상승할수록 마르텐사이트 변태온도가 상승하는 이유는? | 3. 어닐링 열처리 온도가 상승할수록 마르텐사이트 변태 온도는 상승하는데 이는 Ti2Ni 석출물이 조대화되며 조밀도가 감소하기 때문이라 사료되었다. |
I. Otsuka : Shape Memory Alloys, Cambridge University Press, New York (1998) 1
T. W. Duering, K. N. Melton, D. Stockel, and C. M. Wayman : "Engineering Aspects of Shape Memory Alloys", Butterworth-Heinemann Ltd, London (1990) 11
A. Gyobu, Y. Kawamura, H. Horikawa and T. Saburi : Mater. Trans., JIM, 37 (1996) 697
J. D. Busch and A. D. Johnson : J. Appl. Phys., 68 (1990) 6224
Yong-Feng Lu, Xiao-Yu Chen, Zhong-Min Ren, Sha Zhu, Jian-ping Wang, Thomas Y. F. Liew : Jpn. J. Appl. Phys. 40 (2001) 5329
J. L. He, K. W. Won and J. T. Chang : Thin Solid Films, 359 (2000) 46
Sneddon : Int. J. Eng. Sci., 3 (1965) 47
F. J. Gadieu and N. Chencinski : IEEE Trans. Magn., 227 (1975) 11
J. A. Thornton : J. Vac. Sci. Technol., 11 (1974) 666
X. G. Tang, H. R. Zeng, A. L. Ding, P. S. Qiu, W. G. Luo, H. Q. Li and D. Mo : Solid State Commun., 116 (2000) 507
T. Kikuchi, K. Ogawa, S. Kajiwara, T. Matsunaga, S. Miayzaki and Y. Tomota : Philos. Mag. A78(2) (1998) 467
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.