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문제 정의
- 그림 1은 2차원 수치 해석에 이용된 셀 구조로서 기본적으로 대향형 방전을 주방전으로 하고 기존의 일반적인 3 전극 면방전 구조에서 어드레스 전극 및 상판의 전극들을 이용해서 대향형 방전을 일으키기 쉽도록 방전 개시에 도움을 주는 보조 전극의 역할을 부여함으로써 효율 개선 및 구동 전압 감소의 효과를 얻고자 하였다. 단순 대향형 전극에 의한 긴 전극 간격 구조가 아닌 신 대향형 구조라 할 수 있는 이 구조에서는 각 전극마다 다음과 같은 역할을 수행하도록 구동 파형을 변형시켜 인가하였다.
- 본 논문에서는 대향형 방전을 주방전으로 하고 상판의 전극들과 하판의 어드레스 전극에 적절한 m기와 펄스 폭을 가지는 보조 펄스를 인가함으로써 보조 방전을 일으키는 새로운 대향형 구조를 제안하고 그에 대한 방전 특성에 대해서 수치 해석을 통해 분석하였타. 신 대향형 구조에서는 HX, HY, 그리고 어드레스 전극에 보조 펄스를 인가함으로써 VX와 VY의 유지 전극 사이에서 본격적으로 대향형 방전을 일으키기 전에 짧은 전극 간격을 가지는 VX 전극과 어드레스 전극 사이 또는 상판의 두 보조 전극 사이에서 방전을 일으킴으로써 방전 개시의 역할을 수행하였고 주방 전인 대향형 방전으로의 방전 모드 전이를 통해 VUV 생성효율의 증가 및 구동 전압의 감소 효과를 유도할 수 있었다.
- 본 논문에서는 일반적인 3 전극 면방전 구조를 변형시킨 신 대향형 구조를 새롭게 고안하여 신 구조에서의 방전 특성에 대해 수치 해석을 통해 분석함으로써, 신 대향형 구조의 발광 효율 및 구동 전압의 개선 효과에 대한 결과를 중심으로 서술할 것이다. 또한 수치 해석 결과에 대한 신뢰성은 실험결과를 제시함으로써 검증할 것이다.
가설 설정
- 가스를 사용한다. 본 연구에서는 Ne-Xe [5%1 400 Torr 의 가스 조건을 적용하였고, Ne의 경우에는 Ne(ground), N*, e Ne", Ne; Ne2*, Ne/와 같은 6 개의 에너지 준위 모델을 가정하였고 Xe 의 경우에는 VUV 방출을 고려하여 Xe(ground), X* e(5), X*('seG, X*, *e X*, e X*(l e2 u, 0『, v~ 0), Xe2*(0u+, v»0), Xef의 8 개의 에너지 준위 모델을 가정하였다.
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