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제안 방법
- Sol-gel 법으로 0.4M PbZrO3 전구체를 만들기 위하여 lead acetate trihydrate(Aldrich 99+%)와 zirconium butoxide (Aldrich 80 wt%)> 2-methoxyethan이 에 용해시킨 후 일반적인 전구체 형성을 하여 가수분해를 위한 H2O 와 HNO3, Ethylen-glycole 등을 첨가하는 반면에 본 실험에서는 formamide 4 vol%를 첨가하여 가수분해를 하지 않고 PbZrO3 전구체 용액을 만들었다[13].
- 결정이 형성된 박막이 반강유전체의 특성을 나타내고 있는지를 알아보기 위하여 이력곡선을 그려보았다. 그림 3은 Zr보다 Pb의 양을 많이 넣어 만든 시료의 특성이다.
- 이 과정을 매 도포 때마다 반복 실행하였고, 필요로 하는 두께의 박막을 얻기까지 5회 실시하였다. 박막의 평균두께는 1회 coating에 400 A이다, 이렇게 만들어진 박막의 반강유전성올 알아보기 위하여 전극으로써 금(Au)을 가열 증착 법으로 증착하였다.
- 박막을 제작하였다. 본 연구에서는 위에 소개된 박막 제조 기술 중에서 화학당량론적 제어가 쉬우며 저렴한 장비 가격 등의 이점이 있는 sol*삲법으로 박막을 제조함에 있어 일반적으로 행하여 오던 가수 분해 과정을 생략하여 그 제조 공정을 단순화하였으며, Pb와 Zf의 혼합비에 따라 Pb가 박막형성에 미치는 영향을 초사하였다,
- 시료의 유전성을 알아보기 위하여 하부전극은 백금(Pt)으로, 상부전극은 금(Au)으로 하여 평판형 축전기를 형성하고 있는 시료를 RT66A에 의해 인가된 전압에 따른 분극을 조사하였다.
- 동안 후열처리 하였다. 이 과정을 매 도포 때마다 반복 실행하였고, 필요로 하는 두께의 박막을 얻기까지 5회 실시하였다. 박막의 평균두께는 1회 coating에 400 A이다, 이렇게 만들어진 박막의 반강유전성올 알아보기 위하여 전극으로써 금(Au)을 가열 증착 법으로 증착하였다.
- 이렇게 만들어진 박막의 열처리 온도에 따라 결정화되는 과정을 XRD (Philips Xeert, Cu Ka, 입사각 1°) 측정을 통해 조사하였타.
- 이렇게 제작된 PbZrO3 전구체를 기판 (Pt/Ti/ SiOs/Si, 1 ctf) 위에 spin coating법으로 증착하였으펴, 증착된 박막은 결정화를 위한 열처리를 하기 전에 200 'C에서 30분 동안 건조시켰으며, 설정 온도를 유지하고 있는 관상로에 건조된 박막을 넣고 1분 동안 후열처리 하였다. 이 과정을 매 도포 때마다 반복 실행하였고, 필요로 하는 두께의 박막을 얻기까지 5회 실시하였다.
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