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펄스 레이저 증착법을 이용한 유기 박막의 제작
Fabrication of Organic Thin Films by Pulsed Laser Deposition 원문보기

韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society, v.17 no.5, 2008년, pp.455 - 460  

박상무 (구마모토 대학교 과학기술대학원) ,  이붕주 (남서울대학교 전자공학부)

초록
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최근까지 유기박막의 제조에 있어서 진공 증착 혹은 스핀코팅법의 대체방법으로 펄스 레이져 증착법 (PLD: Pulsed laser deposition)에 많은 관심이 되고 있는 실정이다. 본 논문에서는 유기발광소자(OLED)의 제작을 위해 $Alq_3$(aluminato-tris-8-hydroxyquinolate)와 TPD의 유기물을 질소($N_2$)분위기 상태에서 KrF($\lambda$=278 nm) 엑시머 레이저를 이용한 PLD법으로 증착하였고, 증착공정변화에 따른 증착된 박막의 분자 및 광학적 특성의 효과를 PL과 FT-IR등을 이용하여 평가하였다.

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

In recent years, there has been highly interestedin pulsed laser deposition (PLD) method for fabrication of the organic thin films, as an alternative to conventional fabrication method such as vacuum evaporation and spin coating techniques. In this study, organic thin films of $Alq_3$ (al...

주제어

#펄스레이저증착법  

AI 본문요약
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문제 정의

  • ">있다[5]. 또한, 유기발광소자가 응용 분야로 종래로는 생각할 수 없었던 면발광 이라고 하는 완전히 새로운 조명을 만들어 내는 것이다. 현재, 조명으로서 사용되고 있는 백열등은 점광원, 형광등은 후)유기박막이">유기 박막이 성공적으로 이루어진다면 단분자나 고분자 등에 관계없이 유기박막을 진공 중에 형성시킬 수 있다는 장점이 있다. 본 연구에서는 유기발광소자유기물로 초기 유기발광소자소자 발견에 쓰인 물질인Alg3와 TPD를 PLD법으로 고순도의 박막을 형성하여 표면구조와 PL을 측정하여 형성된 박막의 특성을 평가하였다.
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질의응답

핵심어 질문 논문에서 추출한 답변
유기발광소자는 무엇을 지칭하는가? 최근 차세대 디스플레이로서 유기발광소자(Organic Light Emitting Diodes)가 매우 주목 받고 있으며 관련 연구가 활발하게 이루어지고 있다[1-3]. 유기발광소자는 다양한 투명기판 기판 즉, 유리나 플라스틱 등의 위에 유기 박막을 증착 시킨 후 전극을 형성시키고 양 끝단에 전압을 인가하면 박막이 발광하는 소자를 지칭한다[4]. 유기발광소자는 개똥벌레의 빛으로 대표되는 자연계에 벌써 존재하고 있는 유기의 빛을 인공적으로 만들어 내는 기술이다.
유기발광소자의 형광체의 성막에 가장 많이 사용되는 방법은 무엇인가? 즉, 유기발광소자의 효율 및 재현성을 높이기 위해서는 그에 맞은 형광체가 개발되어야 하며 형광체의 박막을 어떻게 형성 하느냐에 따라 소자의 성능을 높일 수 있다. 유기발광소자의 형광체의 성막에 가장 많이 사용되는 것으로는 진공증착법 (thermal depositon)과 잉크젯법이 많이 쓰이고 있다. 여러 다양한 박막제조 공법 가운데 Pulsed Laser Deposition(PLD)에 의한 박막제조법은 고온산화물 초전도체가 발견된 이후 크게 주목되고 있다.
유기발광 소자의 연구 분야 중 유기물 개발 및 소자 형성에 관한 분야가 가장 많은 부분을 차지하는 이유는 무엇인가? 이렇게 많은 장점을 가지고 있는 유기발광 소자의 연구 분야 중에 가장 많은 부분을 차지하고 있는 것이 유기물 개발 및 소자 형성에 관한 분야이다. 즉, 유기발광소자의 효율 및 재현성을 높이기 위해서는 그에 맞은 형광체가 개발되어야 하며 형광체의 박막을 어떻게 형성 하느냐에 따라 소자의 성능을 높일 수 있다. 유기발광소자의 형광체의 성막에 가장 많이 사용되는 것으로는 진공증착법 (thermal depositon)과 잉크젯법이 많이 쓰이고 있다.
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참고문헌 (8)

  1. S.-M. Park, K. Ebihara, T. Ikegami, B.-J. Lee, K.-B. Lim, P.-K. Shin, Current Applied Physics, Vol 7 (2007) 474 

    상세보기 crossref

  2. S.-M. Park, T. Ikegami, K. Ebihara, Jpn. J. Appl. Phys. Vol. 45 (2006) 8453 

    상세보기 crossref

  3. J. -H. Lee, N. G. Park, Y. S. Kim, C. -H. Suh, J. -H. Shim and Y. K. Kim. Curr. Appl. Phys. 5, (2005) 9 

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  4. C. W. Tang and S. A. VanSlyke. Appl. Phys. Lett. 51, (1987) 913 

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  5. F. L. Wong, M. K. Fung, S. W. Tong, C. S. Lee and S. T. Lee. Thin Solid Films. 466, (2004) 225 

    상세보기 crossref

  6. D. B. Chrisey and G. K. Hubler: Pulsed Laser Deposition of Thin Films (Wiley, New York, 1994) P. 327 

  7. 차정옥,신진호,여승준,안정선,남태현,한국진공학회지, 16권, 2호, p.116, 2007 

    원문보기 상세보기 crossref

  8. 엄환섭, 최은하, 한국진공학회지, 15권, 6호, p.556, 2006 

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