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[국내논문] 플라즈마 발생용 전원장치의 LCD 패널 세정효과에 관한 연구
A Study of LCD Panel Cleaning Effect of Plasma Generation Power Source 원문보기

電子工學會論文誌. Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea. SC, 시스템 및 제어, v.45 no.5 = no.323, 2008년, pp.44 - 51  

김규식 (서울시립대학교 전자전기컴퓨터공학부)

초록
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UV 램프 시스템은 오랫동안 TFT LCD 나 PDP 의 패널 세정에 사용되어 왔으나, 저렴한 가격의 고성능 세정에 대한 필요성 때문에 고전압 플라즈마 세정에 대한 기술이 개발되고 그 성능이 향상되어 왔다. 장벽방전 (barrier discharge) 혹은 무성방전 (silent discharge)으로 불리는 유전체 장벽 방전 (Dielectric-Barrier Discharges, DBDs) 는 오존 발생기에 주로 이용되어 왔다. 본 논문에서는 LCD 세정용으로 6kW 급 고전압 플라즈마 발생장치를 구현하였다. 3상 입력전압을 직류로 정류한 뒤, 인버터 시스템에 의해 고주파 펄스로 바꾸고 고압 트랜스퍼머를 거쳐 다이오드로 정류한다. 마지막으로, 고압 플라즈마를 발생시키기 위해 양방향 고전압 펄스 스위칭회로가 사용되었다. 실험을 통해 상압 플라즈마가 LCD 패널 세정에 크게 유용함을 보였다.

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

UV lamp systems have been used for cleaning of display panels of TFT LCD or Plasma Display Panel (PDP). However, the needs for high efficient cleaning and low cost made high voltage plasma cleaning techniques to be developed and to be improved. Dielectric-Barrier Discharges (DBDs), also referred to ...

주제어

#LCD Panel   #Plasma   #Cleaning   #DBD   #High-power transformer  

참고문헌 (7)

  1. Akira Mizuno et al., "Indoor Air Cleaning Using a Pulsed Discharge Plasma", IEEE Trans. On Industry Applications, vol.35, no.6, pp.1284-1288, 1999 

    상세보기 crossref

  2. Zuo Li et al, "The Experimental Investigations of Dielectric Barrier Discharge and Pulse Corona Discharge in Air Cleaning", Plasma Sci. Technol., vol.5, pp.1961-1964, 2003 

    상세보기 crossref

  3. M. A. Sobolewski, J. G. Langan and B. S. Felker, "Optimization of plasma-enhanced chemical vapor deposition chamber cleaning plasmas", Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, vol.16, no.1, pp.173-182, 1998 

    상세보기 crossref

  4. Yoon-Ho Choi, et al., "Characteristics of atmospheric pressure N2 cold plasma torch using 60Hz AC power and its application to polymer surface modification", Surface and Coatings Technology, vol.193, no.1, pp.319-324, 2005 

    상세보기 crossref

  5. 김수석, 원충연, 최대규, 최상돈, "리모트 플라즈마용 전원 개발", 2002 전력전자학술대회 논문집, pp.245-248, 2002 

  6. 최대규, 원충연, "플라즈마 발생용 자동 정합회로", 전력전자학회지, 제7권 1호, pp.16-20, 2002 

  7. 이정호, 최대규, 최상돈, 이병국, 원충연, 김수석, "반도체 Ash 공정용 PWM 제어 Plasma 발생방법", 2006전력전자학술대회 논문집, pp.470-474, 2006 

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