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NTIS 바로가기電子工學會論文誌. Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea. SC, 시스템 및 제어, v.45 no.5 = no.323, 2008년, pp.44 - 51
UV lamp systems have been used for cleaning of display panels of TFT LCD or Plasma Display Panel (PDP). However, the needs for high efficient cleaning and low cost made high voltage plasma cleaning techniques to be developed and to be improved. Dielectric-Barrier Discharges (DBDs), also referred to ...
Akira Mizuno et al., "Indoor Air Cleaning Using a Pulsed Discharge Plasma", IEEE Trans. On Industry Applications, vol.35, no.6, pp.1284-1288, 1999
Zuo Li et al, "The Experimental Investigations of Dielectric Barrier Discharge and Pulse Corona Discharge in Air Cleaning", Plasma Sci. Technol., vol.5, pp.1961-1964, 2003
M. A. Sobolewski, J. G. Langan and B. S. Felker, "Optimization of plasma-enhanced chemical vapor deposition chamber cleaning plasmas", Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, vol.16, no.1, pp.173-182, 1998
Yoon-Ho Choi, et al., "Characteristics of atmospheric pressure N2 cold plasma torch using 60Hz AC power and its application to polymer surface modification", Surface and Coatings Technology, vol.193, no.1, pp.319-324, 2005
김수석, 원충연, 최대규, 최상돈, "리모트 플라즈마용 전원 개발", 2002 전력전자학술대회 논문집, pp.245-248, 2002
최대규, 원충연, "플라즈마 발생용 자동 정합회로", 전력전자학회지, 제7권 1호, pp.16-20, 2002
이정호, 최대규, 최상돈, 이병국, 원충연, 김수석, "반도체 Ash 공정용 PWM 제어 Plasma 발생방법", 2006전력전자학술대회 논문집, pp.470-474, 2006
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