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NTIS 바로가기전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, v.21 no.11, 2008년, pp.973 - 976
최원석 (한밭대학교 전기공학과) , 박문기 (LG 디스플레이) , 홍병유 (성균관대학교 정보통신공학부)
In addition to its similarity to genuine diamond film, diamond-like carbon (DLC) film has many advantages, including its wide band gap and variable refractive index. In this study, DLC films were prepared by the RF PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) method on silicon substrates using ...
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