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NTIS 바로가기한국표면공학회지 = Journal of the Korean institute of surface engineering, v.42 no.1, 2009년, pp.21 - 25
강자연 (경기대학교 재료공학과) , 김동원 (경기대학교 재료공학과) , 조규일 (경기대학교 재료공학과) , 우병일 (경기대학교 재료공학과) , 윤환준 ((주)삼한일렉트로닉스)
Using an evaporation system,
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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부착 불량은 Indium-Tin-Oxide 박막에 어떤 영향을 미치는가? | ITO 박막의 전기, 광학적 특성이 기기 성능에 직접적으로 영향을 미치지만, 박막의 내구성과 장기간 신뢰성은 박막과 그 하부 기판 사이의 부착성에 크게 의존하는 것으로7-9) 부착 불량은 ITO 박막 표면에 원하지 않는 hillock, hole 등의 생성 원인이 되어 박막의 비저항 및 광학적 특성을 변화시키는 간접적인 원인이 된다10). | |
ITO란? | ITO(Indium-Tin-Oxide)는 n-type 전도 특성을 갖는 산화물 반도체로서 가시광 영역에서의 높은 광투과율 및 낮은 전기 비저항을 나타내기 때문에 태양전지(solar cell), 액정디스플레이(liquid crystal display), 터치패널(touch panel) 등의 투명전극 재료, 전계발광(electro-luminescent) 소자, 표면발열체, 열반사 재료 등 다양한 분야에 응용되고 있다1). | |
ITO가 투명전극 재료, 전계발광소자, 표면발열체, 열반사 재료 등 다양한 분야에 응용되는 이유는? | ITO(Indium-Tin-Oxide)는 n-type 전도 특성을 갖는 산화물 반도체로서 가시광 영역에서의 높은 광투과율 및 낮은 전기 비저항을 나타내기 때문에 태양전지(solar cell), 액정디스플레이(liquid crystal display), 터치패널(touch panel) 등의 투명전극 재료, 전계발광(electro-luminescent) 소자, 표면발열체, 열반사 재료 등 다양한 분야에 응용되고 있다1). |
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오픈액세스 학술지에 출판된 논문
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