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문제 정의
- 산업적 적용을 살펴보고자한다. (주) 포코에서는 다년간 펨토초 레이저를 이용하여 초정밀 가공을 수행에 왔으므로 그동안의 경험을 포함한 가공 기술에 따른 응용사례를 소개하고자 한다.
- 본고에서는 (주) 포코에서 수행한 연구결과와 타 연구기관의 연구 결과의 대표적인 사례를 기반으로 펨토초 레이저의 초정밀 가공기술을 이용한 반도체, 전자, 자동차, 의공학, 원자력, 메카트로닉스 등의 산업전반의 응용사례를 살펴보았다. 펨토초 레이저의 이용한 초정밀가공기술은 텅스텐, 티타늄, 초함금 등 고온에서 사용되는 재료, 알루미나, 질화규소, 유리 등과 같은 열에 취약하며 난삭성인 세라믹 재료, 형상기억합금과 자성재료 등과 같이 재료의 성능이 온도에 민감한 기능성 물질 등의 가공에 적합한 것으로 생각된다.
- 본고에서는, 이러한 장점을 지닌 펨토초 레이저 가공의 산업적 적용을 살펴보고자한다. (주) 포코에서는 다년간 펨토초 레이저를 이용하여 초정밀 가공을 수행에 왔으므로 그동안의 경험을 포함한 가공 기술에 따른 응용사례를 소개하고자 한다.
- 이곳에서 선택적 박막제거에 관해 설명하고자 한다. 우선 전자 분야의 대표적인 것으로 디스플레이와 솔라셀의 경우를 살펴보면 패널 및 모듈은 수 n에 이르는 박막 다층으로 구성되어 있다.
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