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NTIS 바로가기한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.26 no.5 = no.218, 2009년, pp.150 - 156
박정규 (한국기계연구원 나노융합기계) , 조성학 (한국기계연구원 나노융합기계) , 김재구 (한국기계연구원 나노융합기계) , 장원석 (한국기계연구원 나노융합기계) , 황경현 (한국기계연구원 나노융합기계) , 유병헌 (한국과학재단) , 김광열 (한양대학교 전자통신컴퓨터공학부)
The removal of tiny particles adhered to surfaces is one of the crucial prerequisite for a further increase in IC fabrication, large area displays and for the process in nanotechnology. Various cleaning techniques (wet chemical cleaning, scrubbing, pressurized jets and ultrasonic processes) currentl...
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