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NTIS 바로가기한국결정성장학회지 = Journal of the Korean crystal growth and crystal technology, v.20 no.5, 2010년, pp.227 - 231
정현호 (한국세라믹기술원 전자.광소재센터) , 김진호 (한국세라믹기술원 전자.광소재센터) , 황종희 (한국세라믹기술원 전자.광소재센터) , 임태영 (한국세라믹기술원 전자.광소재센터) , 최덕균 (한국세라믹기술원 전자.광소재센터)
Super hydrophilic
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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TiO2 초친수 박막의 두께를 증가시키는 방법은? | LPD법을 이용하여 광촉매 특성을 지닌 TiO2 초친수 박막을 제조하였다. TiF4 용액에 침적하는 시간이 늘어날수록 입자 성장이 발생하여 박막의 두께가 증가되었다. 제조된 박막의 표면 RMS값은 약 1. | |
LPD법에 의한 TiO2 박막 제조는 어떻게 이루어지는가? | LPD법에 의한 TiO2 박막 제조는 전구체(TiF4, TiCl4)를 물에 녹여 용액의 농도와 pH를 적정한 후 기판을 수용액에 침적시켜 100℃ 이하의 온도를 유지하면서 침적 시간에 따라 박막의 두께 및 성장속도를 제어하여 기판 위에 박막을 제조하는 기술이다[8]. | |
TiO2 박막은 어떤 방법들에 의해 제조되는가? | TiO2 박막은 sol-gel, sputtering, chemical vapor deposition(CVD), layer-by-layer(LBL)법, liquid phase deposition(LPD)법과 같은 다양한 방법들에 의해 제조된다[4-8]. 특히 습식 공정법인 LPD 법은 박막제조 공정이 간단하고 막 두께를 나노 스케일로 제어하기 용이하며 대면적 코팅에 유리한 장점을 갖고 있다. |
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