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문제 정의
- 기존의 MEMS 기술과 접목하여 diaphragm 방식의 압력센서를 제작하여 압력에 따른 전기전도 특성의 변화를 측정하여 고감도의 센싱특성을 보고 하였다. 또한 연구를 통하여 외부 압력에 따라 탄소나노튜브의 전기전도 특성이 변화하는 메카니즘에 관한 분석을 통하여 탄소나노튜브 압력/촉각센서로서 사용되기에 적합함을 보고 하였으며, 기존 기술과의 접목으로 인하여 실질적인 소자로서 응용가능성을 보여 주었다.
- 본 글에서는 탄소나노튜브를 이용한 압력/촉각 센서 연구에 관하여 간단히 소개하고자 한다.
- SWCNT network를 약 10 μm 두께의 film 형태로 만들어 tensile strain에 대한 sensing effect를 연구한 결과가 보고되었는데, strain에 따라 network형 SWCNT (SWCNT network thin film)의 dimension 변화가 SWCNT network thin film 저항 변화의 주된 요인이라고 했다[11]. 이 연구에서는 tensile strain에 대한 SWCNT network thin film의 저항 변화가 linear한 특성을 나타낸다는 것을 측정함으로서 기계적 변형에 따른 센싱특성이 있음을 보고하였다.
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