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NTIS 바로가기한국시뮬레이션학회논문지 = Journal of the Korea Society for Simulation, v.19 no.3, 2010년, pp.45 - 54
송해상 (서원대학교 컴퓨터공학과) , 이재영 ((주)하이닉스반도체) , 김탁곤 (한국과학기술원 전기및전자공학과)
The inherent complexity of semiconductor fabrication processes makes it hard to solve well-known job scheduling problems in analytical ways, which leads us to rely practically on discrete event modeling simulations to learn the effects of changing the system's parameters. Meanwhile, unpredictable di...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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반도체 제조공정에 내재된 복잡성은 왜 모델링 시물레이션에 의존해 왔나요? | 반도체 제조공정에 내재된 복잡성은 작업일정(job scheduling) 문제를 해석적 방법으로는 풀기 어렵기 때문에 보통 시스템 파라미터의 변화에 대한 효과를 이산사건 모델링 시뮬레이션에 의존하여 왔다. 한편 장비 고장 등 예측 불가능한 사건들은 고정된 작업일정 기법을 사용할 경우 전체 공정의 효율을 악화시킨다. | |
예측 불가능한 사건의 문제에 대해 무엇이 필요한가요? | 한편 장비 고장 등 예측 불가능한 사건들은 고정된 작업일정 기법을 사용할 경우 전체 공정의 효율을 악화시킨다. 따라서 이러한 불확실성에 대해 최적의 성능을 내기 위해서는 작업일정을 실시간으로 대처 변경하는 것이 필요하다. 본 논문은 반도체 제조 공정에 대해 시스템 제어관점의 접근방법을 적용하여 이 문제에 적응형 실시간 작업제어 틀을 제안하고, DEVS 모델링 시뮬레이션 환경을 기반으로 제안된 틀을 설계 구현하였다. | |
반도체 제조공정에 내재된 복잡성은 작업일정 문제를 풀기 어려워 어떤 시물레이션에 의존했나요? | 반도체 제조공정에 내재된 복잡성은 작업일정(job scheduling) 문제를 해석적 방법으로는 풀기 어렵기 때문에 보통 시스템 파라미터의 변화에 대한 효과를 이산사건 모델링 시뮬레이션에 의존하여 왔다. 한편 장비 고장 등 예측 불가능한 사건들은 고정된 작업일정 기법을 사용할 경우 전체 공정의 효율을 악화시킨다. |
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