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삼염화실란 정제공정에서의 분리벽형 증류탑 적용
Application of a Divided-Wall Column for the Trichlorosilane Refining Process 원문보기

청정기술 = Clean technology, v.16 no.1 = no.48, 2010년, pp.64 - 70  

홍승택 (영남대학교 디스플레이화학공학부) ,  이문용 (영남대학교 디스플레이화학공학부)

초록
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본 연구에서는 상용 폴리실리콘 제조공정 중 삼염화실란 정제공정에 사용되는 증류탑에 대해 분리벽형 증류탑을 적용하는 방안을 제안하였다. 상용 전산모사 프로그램(HYSYS)을 통해 기존의 단순 증류탑을 사용한 정제공정과 분리벽형 증류탑으로 대체한 공정을 각각 전산모사 하여 같은 순도와 수율로 삼염화실리콘을 정제할 때 증류탑에서 소모되는 에너지와 투자비용 효과를 비교 분석하였다. 그 결과, 분리벽형 증류탑을 적용한 정제공정이 기존 정제공정에 비해 약 61%의 에너지 절감 효과와 58%의 투자비용 절감효과를 가지는 것으로 확인되었다.

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

In this study, we suggest the application of the divided-wall column (DWC) to the existing trichlorosilane(TCS) purification process in the commercial polysilicon manufacturing process. Using Aspen HYSYS V7.1, an extensive simulation study was carried out for the analysis of the energy consumptions ...

주제어

AI 본문요약
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문제 정의

  • 있다. [9], 본 연구에서는 이러한 분리벽형 증류탑을 폴리실리콘 정제과정에 적용하는 방법을 제안하고, 에너지 소비 정도와 장치비용에 대한 경제성 평가를 통해 기존의 폴리실리콘 정제공정과 비교해 보고자 한다.
  • 이러한 불순물을 제거하고 6N이나 9N의 고순도로 TCS를 분리하기 위한 정제공정에서는 Figure 4에서와 같은 순차적으로 배열된 5기의 증류탑이 사용되는데 증류공정의 특성상 많은 양의 에너지가 소비된다. 이미 TCS 정제공정에서 소비되는 에너지를 절감하기 위한 여러가지 연구들이 시도되 었지만 [7, 8, 11] 본 연구에서는 기존 TCS 정제공정에 사용되고 있는 일반 증류탑에 대해 증류탑 내부에 분리벽이 있는 분리 벽형 증류탑을 대체 적용하는 방법에 주안점을 두어 연구하였으며, 화학적인 반응을 이용해 불순물을 제거하는 방법이 아닌 증류탑의 구조적인 변경을 통한 TCS 정제공정에서의 에너지 절감을 달성하고자 한다.
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참고문헌 (16)

  1. http://www.energyblueprint.info/resources.0.html 

  2. Petlyuk. F. B., Platonov. V. M., and Slavinskii. D. M., "Thermodynamically Optimal Method of Separating Multicomponent Mixtures", Int. Chem. Eng., 5(3), 555-561 (1965). 

  3. Electronic Parts & Components, 2007, No. 11, pp. 36. 

  4. Handbook of Photovoltaic Science and Engineering, John Wiley & Sons, Ltd, 2003, pp. 153-204. 

  5. Hirosi, K., and Kumi, O., "Development Trend for High Purity Silicon Raw Material Technologies", Sci. Technol. Trends, (24), 38-50 (2007). 

  6. Uda, H., Abang, A. E., and Ibrahim, A., "High Purity Polycrystalline Silicon Growth and Characterization", Chiang Mai J. Sci, 34(1), 47-53 (2007). 

  7. Kloepfer, H., "Separation of Chlorosilanes from Gaseous Reaction Products", US Patent No. 3,500,613 (1970). 

  8. Union Carbide, "Low Cost Solar Array Project. Feasibility of the Silane Process for Producing Semiconductor-Grade Silicon", Final Report, Oct 1975-Mar 1979, JPL Contract 954, 334, Jun 1979. 

  9. Massimiliano, E., Giuseppe, T., Ben-Guang, R., Daniele, D., and Ilkka, T., "Energy saving and capital cost evaluation in distillation column sequences with a divided wall column", Chem. Eng. Res. Des., 87, 1649-1657 (2009). 

  10. Fang, C. S., et aI., "Process Feasibility Study in Support of Silicon Material Task I. Quarterly Technical Progress Report (VIII)", Lamar University, Chemical Engineering Department, 1978. 

  11. Drews, M., A., Boggs, B., E., Digges, T., G., Jr. Yaws, C., L., "High Purity Silicon Manufacturing Facility", Texas Instruments Inc Dallas, Final Technical Report 1, Jul., 69-31, 1971. 

  12. Gribov, B., G., and Zinov"ev, K., V., "Preparation of High-Purity Silicon for Solar Cells", Inorg. Mater., 39(7), 653-662 (2003). 

  13. Gribov, B., G., and Zinov"ev, K., V., "Hydrometallurgical Purification of Metallurgical-Grade Silicon", Rare Metals, 28(3), 221-225 (2009). 

  14. Coso, G., del, Zamorano, J., C., Caniizo, C., del, Lelievre, J., F., Hofstetter, J., and Luque, A., "Solar-Grade Silicon Production through TrichIorosilane Decomposition", Proceedings of the 2009 Spanish Conference on Electron Devices , 360-363 (2009). 

  15. Seung, H., L., and Moon, Y., L., "The Study of Structure Design for Dividing Wall Distillation Column", Korean Chem. Eng. Res., 45(1), 39-45 (2007). 

  16. Systematic Methods of Chemical Process Design, Prentice Hall, 2003, pp 110-141. 

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