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문제 정의
- IR 현미경의 역사는 1949년 영국 옥스퍼드에서 시작되었으며 Barer, Cole, Thomson 등의 연구자들이 생물학 분야를 연구하기 위해 IR 분광기와 현미경을 결합하여 20 fim 크기의 직경을 가진 물질을 측정하는데 최초로 성공하였고 1953년에는 Perkin-Elmer사에서 첫 번째로 상용화된 IR 현미경인 Model 85를 출시하였다(그림 I). 그 후, 1970년대 후반에 IR 현미경에 대한 수요가 급증하게 되는데, 이는 컴퓨터 산업에서 발생하는 오염이나 불량 문제를 해결하기 위한 목적이었다. 이때, Nanometrics (USA)사는 Nanospec/20을 출시하였는데 이 기기는 디지털 컴퓨터와 높은 감도의 mercury cadmium telluride 검출기를 사용히였다 1980년대 초에 Digilab사는 Fourier Trans form 적외선 분광기 (FTTR)와 현미경을 결합한 제품을 출시하게 되었으며, 이때부터 IR 현미경 기술은 국소부분을 측정하는 정성적인 기술로서 인정을 받게 되었다.
- 본 고에서는 IR 현미경에 대한 소개와 신분석 기술인 ATR 이미징 등에 대해 살펴보고 IR 현미경의 보완적인 기술로 등장하고 있는 Raman 현미경의 활용 가능성에 대해 간단히 언급해 보도록 하겠다.
- 지금까지 IR 현미경 및 이미징을 이용한 측정 방법과 그 활용사례 에 대해 살펴보았다. IR 현미경은 산업체에서 공정 라인의 생산성 향상을 위한 이물 분석, 마이크로미터 영역의 불량 부위 분석을 통한 제품 품질 향상 등에 널리 활용될 수 있는 분석 기법이며, IR 이미징은 시료의 화학적 조성 및 각각 조성의 공간적인 분포에 대한 이차원 데이터를 제공하기 때문에 화학적, 형태학적 특성을 분석하는데 유용한 정보를 제공해 준다.
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