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극초단 펄스 레이저를 이용한 접합 기술 동향 원문보기

機械와 材料 = State of the art report, v.22 no.4, 2010년, pp.52 - 57  

최지연 (한국기계연구원) ,  서정 (한국기계연구원)

초록
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최근 극초단 펄스(ultrashort pulse) 레이저의 고출력화와 안정화가 실현되면서 본격적인 산업적 응용을 지향하는 상용 제품들이 쏟아져 나오고 있다. 극초단 펄스 레이저의 특성을 가장 잘 활용할 수 있는 적용 분야 중 하나가 유리 기판을 비롯한 투명 광학재질과 취성재료의 가공이며, 이는 시장 전망이 밝은 디스플레이와 의료 산업과 맞물려 큰 주목을 받고 있다. 본 고에서는 현재 큰 관심을 받는 분야 중 하나인 극초단 펄스 레이저를 이용한 유리 기판의 접합 기술의 원리와 최신 해외 연구 동향에 대해 살펴보고, 앞으로ㅢ 발전 방향에 대해 전망 하고자 한다.

AI 본문요약
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문제 정의

  • 본 고에서는 극초단 펄스 레이저의 어떤 가공 특성이 차세대 정밀 레이저 가공기술의 근간으로 부상하게 했는지 그 이유를 살펴보고 극초단 펄스 레이저의 특성이 큰 장점을 가질 수 있는 응용분야중 하나인 유리 기판 접합에 대해서 살펴보고 최 신 연구 동향과 앞으로의 기술 전망에 대해 살펴보도록 한다.
  • 이제 극초단 펄스 레이저를 이용한 유리 접합 기술에 대해 몇몇 대학을 비롯한 주요 연구기관에서 발표된 연구 결과들을 중심으로 살펴보고자 한다. 이 분야의 연구 방향은 크게 (i)레이저 반복률 등 가공 변수(parameter)에 따른 접합 특성 및 효율에 대한 연구, (ii) 가공 재질에 따른 접합 특성에 대한 연구, (ⅲ) 가공 부위의 열해석 등으로 나누어볼 수 있다.

가설 설정

  • 이는 다음과 같은 기작(mechamism)에 의해 가능하다. (i) 전자-격자간의 열전달 시간보다 짧은 펄스폭의 레이저를 이용하므로 광자-전자 사이에 에너지가 흡수되는 과정이 벌크로 열이 전달되는 과정과 분리되어 다루어질수 있다. (ii) 광자에너지의 흡수영역을 공간적으로 극히 작은 초점에서의 부피로 한정시킴으로써 공간 분해능을 향상시킨다.
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