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초록
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본 연구는 전자산업용 몰리브덴 스크랩의 재활용을 위하여 수소 첨가 아르곤(Ar-H$_2$) 분위기의 진공 아크 용해(VAM)에 의한 정련 효과를 조사하였고 정련된 몰리브덴의 극미량 불순물은 글로방전 질량분석기(GDMS)를 이용하여 분석하였다. 텅스텐을 제외한 몰리브덴 내 대부분의 불순물은 Ar-H$_2$ VAM의 의하여 수 ppm 수준으로 제거되어 초기 몰리브덴 스크랩의 순도인 3N(99.95%)급에서 4N(99.995%)급으로 향상되었다. 또한 몰리브덴 내 가스 불순물인 C, N, O의 경우 초기 1290 ppm에서 Ar-H$_2$ VAM에 의해 132 ppm으로 감소함을 확인하였다. 따라서 본 연구는 플라즈마 및 전자빔 용해에 비해 경제적인 용해법인 진공 아크 용해에 의해 몰리브덴 스크랩의 재활용 가능성 및 정련효과를 확인할 수 있었다.

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

We carried out to investigate the refining effect of molybdenum by Ar-H$_2$ vacuum arc melting(VAM) process for recycling Mo scrap. The purity of the Mo metals refined by VAM was evaluated using glow discharge mass spectromety(GDMS). From the result of GDMS, most impurities in the Mo meta...

주제어

AI 본문요약
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문제 정의

  • 용해 시 전류는 약 300-350 A로 고정하였으며 텅스텐 전극을 사용하였다. 용해로의 전극은 회전이 가능함으로서 3차원적인 움직임이 가능하여 그동안 문제되었던 국부적인 용해로 인해 발생되는 편석의 문제점을 최소화 하고자 하였다. 실험에 사용된 몰리브덴 스크랩과 잉곳 용해 과정을 그림 2에 나타내었다.
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참고문헌 (18)

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