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NTIS 바로가기한국결정성장학회지 = Journal of the Korean crystal growth and crystal technology, v.21 no.6, 2011년, pp.230 - 234
박종천 (부산대학교 나노융합기술학과) , 이병우 (한국해양대학교 조선기자재공학과) , 김병익 (한국세라믹기술원) , 조현 (부산대학교 나노메카트로닉스공학과)
High density plasma etching of ZnO film was performed in
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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MEMS 제조 공정기술을 활용한 하향식 공정으로 나노 가스 센서 소자를 제조하기 위해 중요한 것은? | 최근에는 반도체 소자 및 미세전기기계결합소자(micro-electro-mechanical-system, MEMS) 제조 공정 기술을 활용한 하향식(top-down) 공정을 통해 높은 종횡비와 우수한 배향 특성을 갖는 나노 구조 가스센서소자를 제조하고자 하는 연구가 진행되었다[13-16]. 하향식 공정으로 나노 가스 센서 소자를 제조하기 위해서는 고이온밀도 플라즈마를 이용하여 가스감응층을 높은 종횡비를 갖는 미세한 크기의 나노 구조물로 식각하는 것이 매우 중요하다. 따라서 가스 감응재료에 대한 높은 식각 속도와 평탄한 표면특성, 가스 감응재료에 대해 선택비가 높은 mask층을 확보하는 것이 필수적이다. | |
투명 전도성 산화물의 장점은? | 투명 전도성 산화물(transparent conducting oxide, TCO) 반도체 재료는 우수한 전기적 특성뿐만 아니라 가시광선 영역에서 높은 광투과율을 가지기 때문에 flat panel display, 박막형 트랜지스터(TFTs), 태양 전지 등 광전소자 분야에서 폭넓게 활용되고 있다. 다양한 투명 전도성 산화물 반도체 재료 중 ZnO는 약 3. | |
열화학 증착을 이용한 상향식 공정의 한계점은? | 현재까지 ZnO nanowire 및 nanorod는 열증발(thermal evaporation), 열분해(thermal decomposition), laser ablation 등 상향식(bottom-up) 공정에 의해 주로 제조되어 왔다. 이러한 열화학 증착을 이용한 상향식 공정은 극미세한 나노구조물 제조가 가능한 반면에 나노 구조물의 패터닝 및 배향이 용이하지 않아 이를 극복하기 위한 연구들이 진행되었다[7-12]. 최근에는 반도체 소자 및 미세전기기계결합소자(micro-electro-mechanical-system, MEMS) 제조 공정 기술을 활용한 하향식(top-down) 공정을 통해 높은 종횡비와 우수한 배향 특성을 갖는 나노 구조 가스센서소자를 제조하고자 하는 연구가 진행되었다[13-16]. |
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