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NTIS 바로가기전기전자재료학회논문지 = Journal of the Korean institute of electronic material engineers, v.24 no.3, 2011년, pp.229 - 233
송진수 (중소기업진흥공단 컨설팅사업처) , 남태운 (한양대학교 금속재료공학과)
Diamond thin films were deposited on pretreated Co cemented tungsten carbide (WC-6%Co) inserts as substrate by microwave plasma chemical vapor deposition (MPCVD) system, equipped with a 915MHz, 30kW generator for generating a large-size plasma. The substrates were pretreated with two solutions Murak...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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WC-Co 공구에 다이아몬드를 코팅하여 공구의 수명을 연장시키고자 한 연구에서 성과를 이루지 못한 이유는? | WC-Co 공구에 다이아몬드를 코팅하여 공구의 수명을 연장시키고자 하는 많은 연구가 있었으나 큰 성과를 거두지 못한 이유로는 첫째, 바인더로 사용된 코발트에 의한 모재와 다이아몬드 필름간의 밀착력 저하에 의한 것이다 [1]. 둘째는 기상화학증착법에 의해 증착된 코팅층이 재현성이 나쁘거나 증착 필름의 오염 그리고 대면적화의 어려움에 따른 비경제성 때문이다 [2]. | |
마이크로웨이브 플라즈마법의 장점은? | 다양한 기상화학증착법 중에서 최근에 다시 주목을 받고 있는 것이 마이크로웨이브 플라즈마에 의한 다이아몬드 증착법이다. 마이크로웨이브 플라즈마법은 공정의 안정성, 막의 재현성, 높은 에너지 효율 등의 장점을 가지고 있다. 특히, 마이크로웨이브 발생장치가 고출력화 됨으로써 대면적화가 가능하여 상업화 가능성이 대단히 높은 증착법이다 [2]. | |
코발트의 영향을 최소화하여 밀착력을 향상시키기 위한 방법 중 현재까지 가장 좋은 결과를 보인 방법은? | 이와 같은 코발트의 영향을 최소화하여 밀착력을 향상시키기 위해 모재 표면에 존재하는 코발트를 제거하거나 중간층을 형성시켜 코발트의 확산을 억제시키는 방법, 안정적인 코발트 복합물을 형성시키는 방법 등 다양한 방법이 연구되었다. 이들 방법 중 2단계 부식법, 즉 무라카미 용액 부식 후 산 용액으로 부식시키는 방법이 현재까지 가장 좋은 결과를 보이고 있다 [4]. |
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