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NTIS 바로가기Journal of sensor science and technology = 센서학회지, v.20 no.1, 2011년, pp.40 - 45
이정철 (서강대학교 기계공학과) , 최범규 (서강대학교 기계공학과)
Microcantilevers have been actively used in probe-based microscopy and gravimetric sensing for biological or chemical analytes. To integrate actuation or detection schemes in the structure, typical fabrication processes include several photolithographic steps along with conventional MEMS fabrication...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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마이크로 캔틸레버 구조는 어디에 주로 이용되고 있는가? | 마이크로 캔틸레버 구조는 나노스케일 곡률 반경을 갖는 탐침을 이용하여 임의의 표면의 국소 높낮이를 측정하는 원자력현미경(atomic force microscopy)이나 바이오 또는 케미컬 물질의 표면 접착/흡착 시 고유진동수의 변화를 이용하여 질량을 측정하는 센서에 주로 사용되고 있다[1-4]. 최근 이러한 마이크로 캔틸레버 센서의 구동과 측정을 용이하게 하기 위해 캔틸레버 구조물 내에 구동 액츄에이터나 변위 측정 센서를 내장 시키는 연구가 활발히 진행되고 있다[5,6]. | |
본 연구에서 공정후의 캔틸레버와 정전기력 구동 전극 사이의 간격이 제작하고자 하는 캔틸레버의 폭에 좌우되는 이유는 무엇인가? | 본 논문에서 소개된 공정에서는 실리콘 웨이퍼의 전면에 등방성 식각을 이용하여 캔틸레버 구조물을 분리 제작한다. 따라서, 공정후의 캔틸레버와 정전기력 구동 전극 사이의 간격 이 제작하고자 하는 캔틸레버의 폭에 좌우된다. | |
엑츄에이터나 센서를 내장한 마이크로 캔틸레버의 장점은 무엇인가? | 최근 이러한 마이크로 캔틸레버 센서의 구동과 측정을 용이하게 하기 위해 캔틸레버 구조물 내에 구동 액츄에이터나 변위 측정 센서를 내장 시키는 연구가 활발히 진행되고 있다[5,6]. 엑츄에이터나 센서를 내장한 마이크로 캔틸레버는 전체 측정 시스템을 소형 및 경량화 시킬 수 있어 휴대용 또는 각종 자원이 제한된 환경에서 사용될 수 있는 장점이 있는 반면에 그 제작이 복잡해지는 단점이 있다.마이크로 캔틸레버는 주로 전통적인 멤스 공정을 이용하여 제작되는데, 액츄에이터나 센서를 내장한 캔틸레버의 경우 여러 번의 노광 공정을 포함하는 경우가 일반적이다. |
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