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NTIS 바로가기유공압시스템학회논문집 = Transactions of the Korea Fluid Power Systems Society, v.8 no.3, 2011년, pp.14 - 20
김형태 (한국생산기술연구원 스마트시스템연구부) , 최문수 ((주)나인벨)
This study aims at aligning multiple wafers to reduce wafer handling time in wafer processes. We designed a multilevel structure for a prealigner which can handle multiple wafer simultaneously in a system. The system consists of gripping parts, kinematic parts, vacuum chucks, pneumatic units, hall s...
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