선택한 단어 수는 입니다.
최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
선택한 단어 수는 30입니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
문제 정의
- 그러나이 경우 고체와 유체의 연성 해석이 필요하므로 모델링이 복잡하고 계산시간이 매우 많이 걸리는 단점을 가지고 있다. 따라서 본 연구에서는 그 전초 단계로 임프린팅 압력에 의한 몰드의 변형만을 먼저 계산하여 이의 전사된 최종 패턴의 영향을 살펴보고자 하며, 몰드와 레지스트를 복합적으로 고려하는 연성 해석은 향후 수행하고자 한다.
- 본 연구에서는 2세대 TFT-LCD 유리기판(370 × 470 mm2)을 대상으로 하는 전면 가압 방식의 임프린팅 공정[8]에서, 가압시 몰드의 탄성변형으로 초래되는 전사 패턴 전체의 왜곡을 조사하기 위하여 대면적 유연 몰드의 변형을 살펴보고자 한다.
- 연구의 주요 목표는 Fig. 1에 나타낸 대면적 몰드에서 전면 가압 임프린팅 공정 중 발생하는 몰드의 변형을 계산하는 것이다. 이것은 주기적으로 반복되는 24 개의 셀 중, 하나의 변형을 계산하는 문제로 대치될수 있다.
- 더욱이 본 논문에서와 같이 유연 몰드를 사용할 경우 몰드 변형에 의해 잔류층 불균일의 양상이 더욱 복잡해 진다. 이에 따라 본 논문에서는 임프린팅 공정에서 발생하는 몰드 전면적의 변형 분포를 유한요소해석을 통하여 계산하여 그 양상을 살펴보았다. 유한요소모델링시 유효 물성치를 도입하여 미세 패턴의 효과를 고려할 수 있었다.
가설 설정
- 4. Deformation of (a) via hole pattern area and (b) large surrounding wall area in z-dir. by imprinting pressure of 2 bar.
- 셋째, 인덴터를 모사하는 접촉면(Contact Surface)을 생성하여 비아홀 형성용 실린더형 돌출부를 인덴테이션 시험과 같이 0에서 7 mN까지 순차적으로 가압하였다. 마지막으로 PDMS재료는 선형 등방성 탄성체로 가정하였다. 본 연구의 대면적 임프린팅 공정에서 고려하고 있는 임프린팅 압력은 3 bar 미만의 값이다.
- 본 연구의 대면적 임프린팅 공정에서 고려하고 있는 임프린팅 압력은 3 bar 미만의 값이다. 이때 발생하는 PDMS층의 변형은 신장률 110 % 내외로 소변형에 해당되어 비선형성이 작기 때문에 Mooney-Rivlin이나 Ogden의 초탄성 구성방정식[10]으로 고려하지 않고, 해석의 편의상 선형 탄성 가정을 도입하였다.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.