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NTIS 바로가기韓國眞空學會誌 = Journal of the Korean Vacuum Society, v.20 no.1, 2011년, pp.63 - 69
박성찬 (고려대학교 화공생명공학과) , 허정환 (고려대학교 전기공학과) , 김규태 (고려대학교 전기공학과) , 하정숙 (고려대학교 화공생명공학과)
In this study, we report on the novel lithographic patterning method to fabricate organic thin film field effect transistors (OTFTs) based on photo and e-beam lithography with well-known silicon technology. The method is applied to fabricate pentacene-based organic field effect transistors. Owing to...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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유기 전계 효과 트랜지스터의 특징은? | 유기 전계 효과 트랜지스터(organic field-effect transistors, OFETs)는 대면적의 휘어짐이 가능한 소자를 저가로 제작할 수 있으며, radio frequency identification tag, smart card, bendable display [1-3] 등과 같이 다양한 분야에 응용이 가능하여 여러 그룹에서 활발한 연구가 진행되고 있다. 여러 유기 반도체 중에서도 펜타신(pentacene)은 전기적 특성이 매우 우수하기 때문에 [2] 더욱 활발한 연구가 이루어져 왔다. | |
펜타신을 이용한 전계 효과 소자의 문제점은? | 여러 유기 반도체 중에서도 펜타신(pentacene)은 전기적 특성이 매우 우수하기 때문에 [2] 더욱 활발한 연구가 이루어져 왔다. 그러나 펜타신을 이용한 전계 효과 소자의 경우 대부분 쉐도우 마스크를 통해 만들어지는 전극 채널 간의 간격이나 폭이 수십~수천 마이크로미터 정도로 매우 크기 때문에 작은 영역에 소자를 집적하기에는 어려움이 있다. 또한, P3HT같은 유기 반도체는 용매에 잘 녹아서 소프트 리소그래피 공정 [4,5]을 통해 수백나노미터에서 수 마이크로미터 정도의 전극 간격과 폭을 갖는 소자의 제작이 가능하지만 펜타신은 용매에 잘 녹지 않기 때문에 소프트리소그래피 공정을 이용하기 어렵다. 최근 들어 유기 용매에 녹는 펜타신을 이용한 연구 [6-8]가 진행되고 있지만 기존의 열 증착 방식에 의해 제작된 펜타신 소자에 비해 아직까지는 전기적 특성이 좋지 않은 편이다. | |
유기 전계 효과 트랜지스터 중 펜타신의 장점은? | 유기 전계 효과 트랜지스터(organic field-effect transistors, OFETs)는 대면적의 휘어짐이 가능한 소자를 저가로 제작할 수 있으며, radio frequency identification tag, smart card, bendable display [1-3] 등과 같이 다양한 분야에 응용이 가능하여 여러 그룹에서 활발한 연구가 진행되고 있다. 여러 유기 반도체 중에서도 펜타신(pentacene)은 전기적 특성이 매우 우수하기 때문에 [2] 더욱 활발한 연구가 이루어져 왔다. 그러나 펜타신을 이용한 전계 효과 소자의 경우 대부분 쉐도우 마스크를 통해 만들어지는 전극 채널 간의 간격이나 폭이 수십~수천 마이크로미터 정도로 매우 크기 때문에 작은 영역에 소자를 집적하기에는 어려움이 있다. |
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