$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

배열 렌즈 및 핀홀 기반 다중 공초점 로봇 비젼 시스템 : 웨이퍼레벨 패키징의 마이크로 범프 검사응용
Array Lens and Pinhole-based Multi-Confocal Robot Vision System : Micro Bump Inspections in Wafer Level Packaging 원문보기

大韓溶接·接合學會誌 = Journal of the Korean Welding and Joining Society, v.29 no.1, 2011년, pp.29 - 32  

김민영 (경북대학교 IT대학 전자공학부) ,  김현우 (경북대 전자전기컴퓨터학부) ,  이순걸 (경희대학교 기계공학과)

초록이 없습니다.

AI 본문요약
AI-Helper 아이콘 AI-Helper

* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.

문제 정의

  • 본 논문에서는 다수의 개구수를 갖는 마이크로 어레이 렌즈의 셋을 이용하여, 물체의 반사도에 따라 렌즈의 개구수를 바꾸고, 이를 이용하여 측정 물체에 강인하고, 빠른 측정속도를 얻을 수 있는 다중 공초점 로봇비젼 센서를 제안하였고, 이를 위해 마이크로 배열 렌즈와 핀홀 렌즈를 제작하는 자기 정렬방법 기반 반도체공정을 개발하고, 이를 제작 검증하였고, 현재 목표사양에 더욱 근접하기 위해 제작된 배열 렌즈 및 핀홀의 균일도 증진에 대한 연구를 지속수행하고 있다.
본문요약 정보가 도움이 되었나요?

질의응답

핵심어 질문 논문에서 추출한 답변
범프는 사용되는 목적과 재질에 따라 무엇으로 나뉘는가? 웨이퍼 레벨 패키징에 있어서, 일차적으로 활성화되고 있는 회로커넥션 기법은 실리콘 다이의 바닥면에 2차원 배열형태로 형성되는 마이크로 범프이다1). 범프는 사용되는 목적과 재질에 따라, 대표적으로 solder bump, gold bump, 혹은 stud bump 등으로 나뉘며, 점차적으로 solder bump의 수요가 증대되고 있다.
마이크로 범프를 장착한 웨이퍼 다이의 패키징 관점에서 요구되어져 오는 것은 무엇인가? 마이크로 범프의 크기는 20~100um 에 이르고 있고, 범프간 미세피치는 40um에 이른다2). 이러한 미소 범프를 장착한 웨이퍼 다이의 패키징 관점에서, 이를 기존의 2차원 영상 검사에서 벗어나 3차원 형상 측면에서 검사해야할 필요가 지속적으로 요구되어져 오고 있다. 대표적인 방법으로는 구조광 삼각도법, 공초점 현미경법, 간섭 현미경법 등이 있다.
웨이퍼 레벨 패키징에 있어, 일차적으로 활성화되는 회로커넥션 기법은 무엇인가? 웨이퍼 레벨 패키징에 있어서, 일차적으로 활성화되고 있는 회로커넥션 기법은 실리콘 다이의 바닥면에 2차원 배열형태로 형성되는 마이크로 범프이다1). 범프는 사용되는 목적과 재질에 따라, 대표적으로 solder bump, gold bump, 혹은 stud bump 등으로 나뉘며, 점차적으로 solder bump의 수요가 증대되고 있다.
질의응답 정보가 도움이 되었나요?

참고문헌 (5)

  1. http://www.siliconfareast.com/wl_package.htm 

  2. http://www.izm.fraunhofer.de/EN/abteilungen/ hdi/index.jsp 

  3. Ishihara, M. and Sasaki, H., High-speed surface measurement using a nonscanning multiple-beam confocal microscope, Optical Engineering, 38-6 (1999), 1035-1040 

    상세보기 crossref

  4. Toh, P. S., Confocal Imaging, U.S. Patent 6,838,650, Jan. 4, 2005 

  5. Zabolitzky, J., Device for Measuring in Three Dimensions A Topographical Shape of An Object, U.S. Patent 7,446,885, Nov. 4, 2008 

저자의 다른 논문 :

LOADING...

관련 콘텐츠

오픈액세스(OA) 유형

BRONZE

출판사/학술단체 등이 한시적으로 특별한 프로모션 또는 일정기간 경과 후 접근을 허용하여, 출판사/학술단체 등의 사이트에서 이용 가능한 논문

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로