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NTIS 바로가기열처리공학회지 = Journal of the Korean society for heat treatment, v.24 no.6, 2011년, pp.307 - 310
이영진 (울산대학교 첨단소재공학부) , 이학민 (울산대학교 첨단소재공학부) , 허성보 (울산대학교 첨단소재공학부) , 김유성 (뉴옵틱스 기술연구소) , 채주현 (뉴옵틱스 기술연구소) , 공영민 (울산대학교 첨단소재공학부) , 김대일 (울산대학교 첨단소재공학부)
We have investigated the structural, electrical and optical properties of
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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In2O3 박막의 광학 및 전기적 특성을 향상시키기 위하여 어떤 기술이 개발되었는가? | 이 중에서, In2O3 박막은 가시광 영역에서 높은 가시광 투과도와 적외선 영역에서 높은 반사율을 보이는 넓은 밴드갭 에너지를 갖는 투명산화막으로서, 비화학양론비로 성장된 박막은 전자가 전기전도의 주도적 역할을 수행하는 N형 반도체 특성을 나타낸다. 이러한 In2O3 박막의 광학 및 전기적 특성을 향상시키기 위하여 펄스 레이저 증착[4], 전자선 증발[5], 그리고 마그네트론 스퍼터링[2] 등의 다양한 기술이 개발되어 왔다. | |
RF 마그네트론 스퍼터링의 장점은? | 본 연구에서는 높은 증착율, 두께 균일도 그리고 박막의 조성비를 용이하게 조절할 수 있는 장점을 갖는 Radio Frequency(RF) 마그네트론 스퍼터를 이용하여 두께 100 nm의 In2O3 박막을 증착하고 진공 열처리를 통하여 낮은 전기 비저항과 높은 가시광 투과율을 갖는 In2O3 박막을 제작하고 증착 후열처리 온도에 따른 In2O3 박막의 구조적, 전기적, 광학적 특성 변화를 고찰하였다. | |
In2O3 박막의 특징은? | 최근 TiO2, In2O3, 그리고 GZO 같은 산화물 반도체를 평판 디스플레이와 태양전지의 투명전극 또는 특정가스 검출을 위한 센서 소재로 개발하기 위한 많은 연구가 진행되고 있다[1-3]. 이 중에서, In2O3 박막은 가시광 영역에서 높은 가시광 투과도와 적외선 영역에서 높은 반사율을 보이는 넓은 밴드갭 에너지를 갖는 투명산화막으로서, 비화학양론비로 성장된 박막은 전자가 전기전도의 주도적 역할을 수행하는 N형 반도체 특성을 나타낸다. 이러한 In2O3 박막의 광학 및 전기적 특성을 향상시키기 위하여 펄스 레이저 증착[4], 전자선 증발[5], 그리고 마그네트론 스퍼터링[2] 등의 다양한 기술이 개발되어 왔다. |
S. B. Heo, H. M. Lee, C. W. Jung, S. K. Kim, Y. J. Lee, Y. S. Kim, Y. Z. You and D. Kim : J. Kor. Soc. Heat Treat, 24 (2011) 31.
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