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NTIS 바로가기한국분말야금학회지 = Journal of Korean Powder Metallurgy Institute, v.18 no.3, 2011년, pp.256 - 261
안종헌 (영남대학교 신소재공학부) , 정운화 (영남대학교 신소재공학부) , 장윤정 (영남대학교 신소재공학부) , 이성헌 (영남대학교 신소재공학부) , 김규호 (영남대학교 신소재공학부)
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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대표적인 광흡수층 제조방법은? | 한편, CZTS계 박막 태양전지 개발에 있어서는 태양전지의 구조와 제조공정이 CIGS 박막 태양전지의 그것과 동일하게 적용되고 있는데, 광흡수층 제조방법에서는 Cu, Zn, Sn, S, Se등의 원소를 동시에 증발 시키는 Co-evaporation 법이 대표적이다[7]. 이 방법에서는 다수의 원소를 동시에 증발함에 따라 원료 증발원(effusion cell)의 개수가 많아지게 되어 장치가 복잡하고 장비 가격 또한 상승하게 되는 문제점이 있으며, 대면적화 적용에는 아직 기술적으로 해결하여야 할 문제점이 남아있는 것으로 알려지고 있다. | |
Co-evaporation 법의 단점은? | 한편, CZTS계 박막 태양전지 개발에 있어서는 태양전지의 구조와 제조공정이 CIGS 박막 태양전지의 그것과 동일하게 적용되고 있는데, 광흡수층 제조방법에서는 Cu, Zn, Sn, S, Se등의 원소를 동시에 증발 시키는 Co-evaporation 법이 대표적이다[7]. 이 방법에서는 다수의 원소를 동시에 증발함에 따라 원료 증발원(effusion cell)의 개수가 많아지게 되어 장치가 복잡하고 장비 가격 또한 상승하게 되는 문제점이 있으며, 대면적화 적용에는 아직 기술적으로 해결하여야 할 문제점이 남아있는 것으로 알려지고 있다. | |
스퍼터링법의 단점은? | 그 외에, 대면적 박막을 균질하게 제조하는데 적합하다고 알려지고 있는 스퍼터링법이 있는데, 이 방법에서도 Cu, Zn, Sn 등 금속원소를 동시에 Cosputtering하거나 순차적으로 적층한 후, S 및 Se화 처리하는 2단계 공정이 주로 사용되고 있다[8]. 이 경우에도 스퍼터링 Gun의 수가 많아지게 되거나 성막공정 단계가 늘어나게 되는 문제점이 있으며, 진공 공정의 스퍼터링법과 비진공 공정의 S 및 Se화 처리법으로 결합되어 있어 공정의 일관성이 결여되는 점도 또한 불리한 점으로 제기되고 있다[9-10]. |
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