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NTIS 바로가기한국생산제조시스템학회지 = Journal of the Korean Society of Manufacturing Technology Engineers, v.20 no.4, 2011년, pp.472 - 477
김기홍 (한국기계연구원 나노공정장비연구실) , 임형준 (한국기계연구원 나노공정장비연구실) , 정미라 (한국기계연구원 나노공정장비연구실) , 이재종 (한국기계연구원 나노공정장비연구실) , 최기봉 (한국기계연구원 나노공정장비연구실) , 이형석 ((주)나노시스템) , 도이미 (한국전자통신 연구원 RFID)
This paper shows the method of fabrication of a micro lens array comprised of a Nipkow disk used in a large-area, high-speed confocal microscopy. A Nipkow disk has two components, a micro lens array disk and a pinhole array disk. The microlens array focuses illumination light onto the pinhole array ...
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