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NTIS 바로가기융ㆍ복합기술연구소 논문집 = Journal of institute of convergence technology, v.2 no.2, 2012년, pp.25 - 29
신홍식 (한국교통대학교 에너지시스템공학과)
Micro machining technologies have been required to satisfy various conditions in a high-technology industry. Micro electrochemical process is one of the most precision machining methods. Micro electrochemical process has been divided into electrochemical etching through protective layer and electroc...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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미세가공에서 전해반응을 이용하여 재료를 용해시키는 작업을 분류하면 무엇인가? | 일반적으로, 미세가공에서 전해반응을 이용하여 재료를 용해시키는 작업은 크게 두 가지로 분류할 수 있다. 하나는, 포토마스크를 이용 하여 원하는 영역만을 국부적으로 용해시키는 작업 이며 이를 전해에칭(electrochemical etching)이라 한다. 다른 하나는 포토마스크를 사용하지 않는 경우로 수 십 나노 초(nano‐second)의 펄스폭을 갖는 초단펄스 전압을 이용하는 전해가공이 있다. 통상적으로 전해용출에 의한 방법을 이용하여 원하는 미세 구조물의 형상을 얻는 방법이기 때문에 미세 전해가 공이라는 용어로 통칭한다. | |
보호층을 이용하는 방법은 무엇이 있는가? | 보호층을 이용하는 방법에는 감광막 이외에도 산화막을 사용할 수 있다. 이를 위해서는 금속의 표면에 두꺼운 산화막을 형성할 수 있어야 한다. | |
전해가공의 원리는 무엇인가? | 전해가공은 전해액 속에 공작물(workpiece or anode)과 공구전극(tool electrode or cathode)을 침지 하거나 전해액을 순환시키며 수행한다. 전해액 속에서 두 전극 사이에 외부 전원을 공급하여 전위차를 발생시키고 공작물에서의 양극 용해(anodic dissolution)을 이용하는 가공방법이다. |
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