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전해응집법에 의한 불화수소 함유 워터젯 플라즈마 폐수처리
Removal of Hydrogen Fluoride from Waterjet Plasma Wastewater by Electrocoagulation 원문보기

대한환경공학회지 = Journal of Korean Society of Environmental Engineers, v.34 no.10, 2012년, pp.702 - 708  

이채홍 (조선대학교 환경공학부) ,  전영남 (BK21 바이오가스기반 수소생산 사업팀)

초록
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사불화탄소($CF_4$)는 반도체 제조공정에서 에칭과 화학기상증착(CVD)에서 사용되어온 가스이다. $CF_4$는 적외선을 강하게 흡수하고 대기 중 잔류시간이 길어서 지구온난화에 영향을 미치기 때문에 고효율의 분해가 필요하다. 또한 불화수소를 포함한 폐수는 지하수 오염의 원인이 된다. 과도한 불소를 포함한 물을 장기간 섭취는 치아와 뼈에 문제를 야기한다. 워터젯 플라즈마를 이용하여 $CF_4$를 분해 후 생성되는 부산물 중 HF에 의하여 폐수가 생성된다. 이 폐수를 알루미늄 전극을 사용한 전해응집을 이용하여 폐수 중 HF를 제거 할 수 있는 시스템을 개발하였다. 실험 변수로는 초기 pH 변화, 반응 시간 변화, 주입유량 변화, 전류 밀도 변화를 실험하였다. 변수 실험을 통하여 초기 pH는 3.5, 반응 시간은 10 min, 주입 유량은 10 mL/min, 전류 밀도는 $159A/m^2$일 때 HF 제거율은 최고 85%까지 도달하였다.

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

Tetrafluoromethane ($CF_4$) has been used as etching and Chemical Vapor Deposition (CVD) gases for semiconductor manufacturing processes. These gases need to be removed efficiently because of their strong absorption of infrared radiation and long atmospheric lifetimes which cause the glob...

주제어

#불화수소   #과불화탄소   #워터젯 스크러버   #글라이딩 아크   #전해응집  

참고문헌 (18)

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