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TFT-LCD 생산공정을 위한 실리콘 펌프 및 제어시스템에 관한 연구
Study on the Silicon Pump and Control System for TFT-LCD Manufacturing Process 원문보기

한국산학기술학회논문지 = Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society, v.13 no.8, 2012년, pp.3618 - 3622  

박형근 (남서울대학교 전자공학과)

초록
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본 연구에서는 LCD 생산라인에서 장기적으로 정체상태에 있는 모듈의 수율을 높이고, 현재 TFT-LCD 생산공정에 필수적인 고압의 실리콘주입 장비 및 정밀 제어시스템을 개발하였다. 본 개발을 통하여 향후 본격생산을 준비중인 차세대 디스플레이 생산라인뿐만 아니라 중국으로 이전중인 LCD 생산 설비의 라인 환경에서 장비의 효율을 최대한 발휘함으로써 신규 투자비용을 최소화하고 최대의 효과를 창출할 수 있도록 세부 동작 시퀀스를 제어하기 위한 H/W와 S/W 시스템을 생산라인에 실장하였다. 또한, Fast-evacuating을 위한 Vacuum pump 구조를 제안하고 Pump control 회로 설계 및 실험을 통해 제품화하였다.

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

In this study, the yield of the modules in LCD production lines, improving current TFT-LCD production process is essential for high-pressure silicone injection equipment, and precision control system was developed. This full-scale production of the future through the development of next-generation d...

주제어

#Silicon Pump   #Fast-evacuating   #Vacuum pump   #Pump Control  

AI 본문요약
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문제 정의

  • 본 논문에서는 2장에서 TFT-LCD 패널의 구조와 Color filter 및 액정공정에 대한 분석을 통하여 개발하고자 하는 실리콘 펌프 및 정밀제어 시스템의 적용방안을 제시하였다. 또한 3장에서 개발된 시스템에 적용된 기포제거 알고리즘과 펌프 및 제어시스템을 제시하였다.
  • 본 연구에서는 Backlight Unit에서 입사된 백색평면광을 구동 회로 Unt로부터 입력된 개개 화소의 신호전압에 따라 화소에 투과되는 빛을 제어하여 Color 영상을 표현하는 역할을 하는 LCD의 제조공정에서 Color filter 및 액정(cell)공정에 필수적인 디스펜서 장치와 정밀 제어시스템을 개발하고자 한다.

가설 설정

  • ① Bottle 교체 시 작업 시간이 오래 걸리고 작업이 어렵다. 특히, 외부 Bottle cover를 제거하고, 플라스틱 Bottle을 손으로 잡고 회전(나사 체결)시켜 제거하는데 표면이 미끄러워 분리가 어렵고, 시간이 오래되어 약액이 굳을 경우 분리가 더욱 어렵다.
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질의응답

핵심어 질문 논문에서 추출한 답변
LCD는 화소 하나 하나가 무엇으로 구성되어 있는가? LCD는 화소 하나 하나가 반도체로 구성돼 생산과정에서 정밀한 장비 제어가 요구되므로 공정제어 장비의 역할이 매우 중요하다. 이와 같이 반도체·디스플레이 생산 라인에서 효율적인 공정제어 및 디스펜서의 중요성이 커지는 가운데 제조공정에서 디스펜서 및 공정제어 장치 시장을 겨냥한 장비 업체들의 움직임도 빨라지고 있다.
반도체·디스플레이 생산 라인의 제조공정에서 디스펜서 및 공정제어 장치 시장을 겨냥한 장비 업체들의 움직임이 빨라지는 이유는? 이와 같이 반도체·디스플레이 생산 라인에서 효율적인 공정제어 및 디스펜서의 중요성이 커지는 가운데 제조공정에서 디스펜서 및 공정제어 장치 시장을 겨냥한 장비 업체들의 움직임도 빨라지고 있다. 왜냐하면 300㎜ 웨이퍼나 7/8세대 LCD 라인 등 대형 라인의 등장으로 개별 웨이퍼나 유리기판 가격도 크게 높아지면서 불량이 발생할 경우 입는 피해도 함께 커졌기 때문이다. 300㎜ 웨이퍼의 경우 200㎜ 제품에 비해 웨이퍼 1장에 반도체가 2.
LCD 패널을 대량으로 생산하는 과정에서 어떤 결함이 있게 되면 LCD의 해당되는 화소(pixel) 또는 라인(line)에서 색상을 제대로 표현하지 못하게 되는가? 이러한 대형 LCD 패널을 대량으로 생산하는 과정에서 장비 자체는 물론 공정이 복잡할 뿐만 아니라 접촉손실(Tact Loss), 배경보다 어두운 흑점(Black spot)이나 배경보다 밝은 얼룩인 백점(White spot), 긁힘 등과 같은 결함이 있게 되면 결국 LCD의 해당되는 화소(pixel) 또는 라인(line)에서 색상을 제대로 표현하지 못하게 된다. 따라서 실리콘 디스펜서 장치의 효율을 높일 수 있는 알고리즘, 그리고 동시에 공정개선을 위한 제어 알고리즘이 탑재된 장비의 필요성이 국내・외 LCD 관련 부품 및 장비 업체에서 대두되고 있다.
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참고문헌 (11)

  1. Leslie KE. Binks RA. et. al., "Three component spinner magnetometer featuring rapid measurement times", IEEE Transactions on Applied Superconductivity, Vol. 11, No. 1, pp.1051-8223, Mar. 2001 

  2. Villegas I, Napolitano P., "Development of a continuous-flow system for the growth of compound semiconductor thin films via electrochemical atomic layer epitaxy", Journal of the Electrochemical Society, Vol. 146, No. 1, pp. 117-124, Jan. 1999 

    상세보기 crossref

  3. S. W. Jeong, Y. K. Kim, S. M. Lee, Y. T. Ko, "Atmospheric corrosion monitoring with Time-Of- Wetness(TOW) sensor and electron resistance sensor," in CSSK Conference, 2001. 

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  5. Kim C. G, Kim et, al., "Driving cold cathode fluorescent lamps in parallel", Electronics Letters, Vol. 41, Issue 4, pp. 163-164, Feb. 2005 

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  6. J. Y. Hwang, "Liquid crystal aligining capabilites and EO characteristics of the photoaligned TN-LCD on a photo-cross linkable polyimide based polymer", Mol. Liquid Crystal, No. 412, pp.259-268, 2004 

  7. K. N. Choi, "Area-Mura Detection in TFT-LCD Panel", IS&T/SPIE Symp. on Electronic Imaging, Vision Geometry XII, pp.151-158, Jan. 2004 

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  9. J. H. Bae, T. H. Ha, H. G. Lee, D. K. Kim, "The Development of Remote Corrosion Monitoring and Control System for Oil Tank by using the High Efficiency CP Rectifier," in KIEE EMECS Conference, Nov. 2001. 

  10. H. S. Jung, A Study on the Optimization of Silicon Antiresonant Reflecting Optical Waveguides (ARROW) for Integrated Optical Sensor Applications, Journal of The Institute of Webcasting, Internet and Telecommunication, VOL.10No.5, pp.153-160, October 2010. 

  11. Y. d. Lee, I. s. Koo, PDA System for Maximizing the Efficiency of Smart Pallet Based Parts Delivery System, Journal of The Institute of Webcasting, Internet and Telecommunication, VOL.10No.4, pp.115-120, August 2010. 

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