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NTIS 바로가기한국표면공학회지 = Journal of the Korean institute of surface engineering, v.46 no.6, 2013년, pp.248 - 257
한재윤 (경기대학교 신소재공학과) , 주새롬 (경기대학교 SDM전공) , 이준형 (경기대학교 SDM전공) , 박동건 (한국 유미코아 천안 리서치 테크놀로지 센터) , 김동원 (경기대학교 신소재공학과)
It is generally recognized that thin Pd-Cu alloy films fabricated by sputtering show a wide range of microstructures and properties, both of which are highly dependent on the sputtering conditions. In view of this, the present study aims to investigate the relationship between the performance of hyd...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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스퍼터 방식으로 제조된 박막의 단점은? | 또한 고순도의 박막을 제조할 수 있는 장점들을 갖는다. 그러나 종래의 스퍼터 방식으로 제조된 박막층은 지지체의 표면에서 수직방향으로 성장한 주상정 구조(columnar structure)들에 기인한 주상정 골자기(columnar valley)의 기공들에 의해 팔라듐 합금 수소분리막의 제조 시 수소 선택도 특성이 저해 되는 문제점을 가진다12). 따라서 이러한 주상정 골자기의 기공 매립을 위한 연구가 활발히 진행 중에 있으며, 이와 같은 문제점을 해결하기 위하여 구리 리플로우 열처리 기술13,14) 및 팔라듐 박막층 미세연마 기술15)에서 주상정 구조에 기인한 분리막 표면의 기공 매립 특성이 개선됨을 보여 주었다. | |
수소를 분리 및 정제하는 기술은? | 수소에너지는 반도체 제조공정, 야금공정, 석유 산업 및 연료전지 등의 첨단 공정분야에서 소요가 급격히 증가하고 있으며, 이에 따라 수소를 분리 및 정제하는 방법이 크게 관심을 받고 있다. 수소를 분리 및 정제하는 기술로는 압력 순환 흡착(pressure swing adsorption, PSA), 열순환 흡착(thermal swing adsorption, TSA), 액화 정류법(cryogenic distillation)과 막분리법(membrane separation)들이 있다. 이 중에서 압력 순환 흡착, 액화 정류법들은 현재 상용중인 공정이지만 에너지 효율이 낮고 복잡한 구성을 필요로 하는 반면에 막 분리법을 이용한 수소 분리/ 정제 공정 기술은 고순도의 수소를 제조하기 위한 가장 유망한 기술로 평가되고 있다. | |
팔라듐 분리막은 구리(Cu), 은(Ag), 니켈(Ni) 등과 같은 다른 금속과 함께 팔라듐 합금분리막으로 사용하는 이유는? | 팔라듐 분리막은 혼합가스에서 수소의 높은 선택적 투과도를 가지고 있으며4,5), 우수한 열적, 화학적, 기계적인 성질을 가지고 있기에 널리 사용된다. 그러나 순수한 팔라듐은 수소의 흡수에 따른 팔라듐 격자가 α상에서 β상으로 상변화가 일어남으로써 발생하는 격자변형으로 인한 분리막 구조의 파괴원인이 된다5). 이러한 이유로 팔라듐 분리막은 구리(Cu), 은(Ag), 니켈(Ni) 등과 같은 다른 금속과 함께 팔라듐 합금분리막으로 사용한다5,6). |
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