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NTIS 바로가기설비공학논문집 = Korean journal of air-conditioning and refrigeration engineering, v.25 no.2, 2013년, pp.55 - 63
김기철 (한국생산기술연구원 나노오염제어연구실) , 송근수 (한국생산기술연구원 나노오염제어연구실) , 김형태 (한국생산기술연구원 나노오염제어연구실) , 유경훈 (한국생산기술연구원 나노오염제어연구실) , 신대건 ((주) 대한피엔씨) , 박덕준 ((주) 신성이엔지)
For a large-scale semiconductor manufacturing clean room, the energy consumed in an outdoor air conditioning system to heat, humidify, cool and dehumidify incoming outdoor air is very large. In particular, the energy requirement to humidify outdoor air in the winter season is generally known to be h...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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반도체 클린룸용 수분무가습 외기공조시스템은 에너지소비량 절감을 목적으로 하기에 어떤 것이 요구되는가? | 반도체 클린룸용 수분무가습 외기공조시스템의 개발은 증기가습 외기공조시스템의 에너지소비량의 절감을 목적으로 하기 때문에, 외기공조시스템의 연간 에너지소비량의 산출이 필수적으로 요구된다. 또한 클린룸 입지 조건이 상이한 경우에 대해서도 동일한 에너지소비량 산출방법의 확립이 필요하다. 그러나 반도체 클린룸의 실제 운전을 통한 연간 에너지소비량의 실측은 많은 비용과 시간이 소모되므로, 수치해석을 통한 증기가습 및 수분무가습 외기공조시스템의 연간 에너지소비량 평가방법의 개발은 경제적인 관점에서 매우 가치가 있다고 판단된다. | |
수분무가습 방식의 장점은? | 따라서 에너지 소비가 높은 증기가습 방식을 에어와셔(air washer)를 이용한 수분무가습 방식(water spray humidification)으로 대체하려는 다양한 연구들이 수행되었다.(5-10) 수분무가습은 분무된 물이 공기로부터 증발잠열을 흡수하여 기화되는 방식이기 때문에, 물을 100~120℃의 증기로 만들기 위한 가열 에너지가 불필요하여 증기가습에 비해 에너지 소비가 적다는 장점을 가지고 있다. | |
외기공조시스템은 도입 외기의 엔탈피에 따른 분할 영역별로 어떻게 작동하는가? | Fig. 1에서 Zone 1은 동계 모드로서, 외기를 10.4℃까지 예열한 후, 증기가습기를 이용해 외기의 절대습도를 0.0078 kg/kgDA가 되도록 가습, 마지막으로 재열하여 외기가 급기 조건(12℃, 90 %RH)를 만족하게 된다. Zone 2는 중간기 모드로, 외기를 10.4℃까지 냉각한 후, 증기가습기로 가습, 다시 재열하여 급기 조건에 도달하게 된다. Zone 3은 하계 모드로서, 외기를 절대습도가 0.0078 kg/kgDA가 될 때까지 냉각한 후, 재열하여 급기 조건 상태로 만들게 된다. 수분무가습 외기공조시스템의 공조프로세스가 Fig. |
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