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NTIS 바로가기전기전자재료 = Bulletin of the Korean institute of electrical and electronic material engineers, v.26 no.11, 2013년, pp.31 - 40
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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SPM이 다양한 학문분야에서 광범위하게 사용되는 이유는? | 01 nm 정도이다. 또한, SPM은 단순히 나노미터 크기의 작은 물체를 관찰하는 현미경 기능뿐만 아니라, 분석하고자 하는 시료의 전기적, 자기적 특성이나, 기계적 특성의 관찰 및 측정이 가능하다는 장점을 지니고 있기 때문에 다양한 학문분야에서 광범위하게 이용되고 있다. 이러한 특성은 국소 영역의 형상 (Topography)과 재료의 물리적 특성과의 상관관계를 이해할 수 있도록 해주며, 나노미터 스케일에서 물질의 구조적 특징을 파악할 수 있는 정보를 제공해 준다. | |
주사탐침현미경이란 무엇인가? | 주사탐침현미경(Scanning Probe Microscopy, SPM)은 다양한 고체 시료 표면에 뾰쪽한 탐침을 매우 가깝게 접근시켜 스캐닝할 때 시료와 탐침 사이에 상호작용하는 물리량(힘 또는 전류)의 변화를 측정 및 모니터링 하여 얻은 정보를 처리하여 시료 표면의 형상과 물리적 특성을 2차원 또는 3차원 이미지로 변환하는 장치이다. 이러한 SPM은 광학현 미경이나 SEM과 같은 전자현미경보다 분해능이 우수하다고 알려져 있는데, 수평분해능은 약 0. | |
원자힘 현미경에서 팁에 가해지는 힘을 측정할 때 사용되는 방식은? | 간단한 힘 측정센서는 Micromechanical 캔틸레버와 나노미터 크기의 팁으로 구성되어 매우 높은힘 측정감도를 가진다. 팁에 가해지는 힘은 캔틸레버의 휨 정도에 따라 결정되며, 이때 Optical lever 방식이 주로 쓰인다. 이 방식은 캔틸레버의 윗면에서 반사된 레이저 빛이 광검출 센서에 맺히는 위치를 측정하는 방법이다. |
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