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플라즈마의 이해 원문보기

전력전자학회지 = The journal of the Korean Institute of Power Electronics, v.18 no.3, 2013년, pp.29 - 33  

이창호 (포항공대 물리학과) ,  조무현 (포항공대 물리학과)

초록
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플라즈마는 전기적 성질을 띤 유체와 유사하며, 외부의 전기적 자극에 대해 스스로 답을 찾아 반응하는 살아있는 무생물과 같은 존재이다. 때문에 원하는 종류의 플라즈마를 생성하고 잘 이용하기 위해서는 플라즈마에 관한 기초적인 이해가 필요하다. 이러한 플라즈마 기초에 관한 이해와 더불어 플라즈마의 생성과 유지에 필수적인 전원 장치에 관한 이해가 곁들여 지면 플라즈마를 이용할 때에 최소의 시행착오로 원하는 목적을 달성할 수 있을 것이다.

AI 본문요약
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* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.

문제 정의

  • 수 있다. 플라즈마의 온도와 밀도에 따라 플라즈마를 생성할 수 있는 방법 또한 모두 다른데 여기서는 대표적인 플라즈마인 글로우 방전(glow discharge), CCP(Capacitively coupled plasma), ICP(Inductively coupled plasma), 유전체장벽 방전, 핵융합 플라즈마에 관해 간략하게 소개하고자 한다.
본문요약 정보가 도움이 되었나요?

참고문헌 (5)

  1. Brin Champman, Glow discharge processes, John Wiley & Sons, Inc., 1980. 

  2. Alfred Grill, Cold plasma in material fabrication, John Wiley & Sons, Inc., 1994. 

  3. Michael A. Lieberman and Allan J. Lichtenberg, Principles of plasma discharges and materials processing, John Wiley & Sons, Inc., 2005. 

  4. J Reece Roth, Industrial plasma engineering, IOP Publishing Ltd., 2001. 

  5. Orlando Auciello and Daniel L. Flamm, Plasma Diagnostics Vol. 1,2, ACADEMIC PRESS, INC., 1989. 

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