최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기청정기술 = Clean technology, v.19 no.2, 2013년, pp.113 - 120
박현우 (인하대학교 화학공학과) , 최수석 (인하대학교 열플라즈마환경기술연구센터) , 박동화 (인하대학교 화학공학과)
The treatment of chemically stable perflourocompounds (PFCs) requires a large amount of energy. An energy efficient arc plasma system has been developed to overcome such disadvantage.
* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.
핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
---|---|---|
과불화합물의 장점은? | 감축대상물질로는 이산화탄소, 메탄, 산화이질소, 수산화불화탄소, 과불화합물 등이 포함되어 있다[2]. 하지만 이러한 규제에도 불구하고 과불화합물은 비활성, 불연성, 무독성 등의 장점으로 인해 다양한 산업분야에 이용되고 있다[3]. 과불화합물의 온난화 지수는 CO2와 비교하여 매우 높은 수치를 보이며, CO2, CF4, SF6, NF3의 온난화 지수는 각각 1, 6,500, 23,900, 17,200로 알려져 있다[4,5]. | |
아크 플라즈마 토치를 이용한 과불화합물 처리장치의 기대효과는? | 따라서 이러한 문제를 개선하고자 본 연구에 사용된 플라즈마 토치에서는 폐가스를 직접 플라즈마 가스로 이용하였다. 이러한 이유로 기존의 열플라즈마를 이용한 과불화합물 처리장치보다 폐가스로의 열전달을 증가시켜 저전력 운전에서도 효율적으로 분해반응을 유도할 수 있도록 하였다. 뿐만 아니라 반응가스를 플라즈마 발생가스에 혼합하여 화학반응을 이용한 분해효율 증가효과를 확인하였다. 본 연구의 목적은 열플라즈마 시스템의 높은 전력소모 문제를 해결하기 위해 고안된 저전력 아크 플라즈마 토치를 이용하여 과불화합물의 분해효율과 에너지효율을 증가시키는 것이다. | |
아크 플라즈마 토치를 이용하는 방식의 특징은? | 따라서 열플라즈마 처리공정의 문제점인 높은 전력 소모를 해결하기 위해 본 연구에서는 새로운 유형의 아크 플라즈마 토치를 이용하였다. 본 연구에 사용된 아크 플라즈마 토치는 추가적인 분해반응기 없이 플라즈마 발생가스로써 폐가스를 직접 사용하였다. 또한 토치에 주입되는 플라즈마 가스를 회전시켜 주입하였으며 이를 이용하여 아크를 회전시켰다. 이러한 특성 때문에 고온의 플라즈마 영역을 폐가스가 효과적으로 직접 통과하도록 하였다. 기존의 비이송식 열플라즈마를 이용한 과불화합물 처리장치에서는 플라즈마 가스로 질소 또는 아르곤만을 이용하였으며, 과불화합물이 포함된 폐가스는 토치 출구 부근에서 열플라즈마 불꽃의 반경방향으로 주입되어, 폐가스가 플라즈마 내부 고온영역에 효과적으로 투입되는데 어려움이 있었다. |
http://unfccc.int/key_steps/bali_road_map/items/6072.php
Gupta, J., Olsthoorn, X., and Rotender, E., "The Role of Scientific Uncertainly in Compliance with Kyoto Protocol to the Climate Change Convention," Environ. Sci. Policy, 6, 475-486 (2003).
Chang, M.. B., and Chang, J. S., "Abatement of PFCs from Semiconductor Manufacturing Processes by Nonthermal Plasma Technologies: A Critical Review," Ind. Eng. Chem. Res., 45, 4101-4109 (2006).
Mohindra, V., Chae, H., Sawin, H. H., and Mocella, M. T., "Abatement of Perflourocompounds (PFCs) in a Microwave Tubular Reactor Using $O_2$ as an Additive Gas," IEEE Trans. Semicond. Manuf., 10, 399-411 (1997).
Radoiu, M. T., "Studies on Atmospheric Plasma Abatement of PFCs," Radiat. Phys. Chem., 69, 113-120 (2004).
Wang, Y. F., Wang, L. C., Shih, M. L., and Tsai, C. H., "Effects of Experimental Parameters on $NF_3$ Decomposition Fraction in an Oxygen-based RF Plasma Environment," Chemosphere, 57, 1157-1163 (2004).
Tsai, W. T., "Environmental and Health Risk Analysis of Nitrogen Triflouride ( $NF_3$ ), a Toxic and Potent Greenhouse Gas," J. Hazard. Mater., 159, 257-263 (2008).
Reichardt, H., Frenzel, A., and Schober, K., "Environmentally Friendly Wafer Production: $NF_3$ Remote Microwave Plasma for Chember Cleaning," Microelectron. Eng., 56, 73-76 (2001).
Takubo, T., Hirose, Y., Kashiwagi, D., Inoue, T., Yamada, H. Nagoka, K., and Takita, Y., "Metal Phosphate and Fluoride Catalysts Active for Hydrolysis of $NF_3$ ," Catal. Commun., 11, 147-150 (2009).
Houghton, J. T., Meira, L. G., Callander, B. A., Harris, N., Kattenberg, A., and Maskell, K., Climate Change 1995-The Science of Climate Change, Cambridge University Press, New York, 1996, pp. 121.
Dillon, T. J., Horowitz, A., and Crowley, J. N., "Cross-sections and Quantum Yields for the Atmospheric Photolysis of the Potent Greenhouse Gas Nitrogen Triflouride," Atmos. Environ., 44, 1186-1191 (2010).
Kim, D. Y., and Park, D. W., "Decomposition of PFCs by Steam Plasma at Atmospheric Pressure," Surf. Coat. Tech., 202, 22-23 (2008).
Narengerile, Saito, H., and Watanabe, T., "Decomposition of Tetraflouromethane by water Plasma Generated under Atmospheric Pressure," Thin Solid Films, 518, 929-935 (2009).
Moreau, E., Chazelas, C., Mariaux, G., and Vardelle, A., "Modeling the Restrike Mode Operation of a DC Plasma Spray Torch," J. Thermal Spray Tech., 15, 524-530 (2006).
*원문 PDF 파일 및 링크정보가 존재하지 않을 경우 KISTI DDS 시스템에서 제공하는 원문복사서비스를 사용할 수 있습니다.
출판사/학술단체 등이 한시적으로 특별한 프로모션 또는 일정기간 경과 후 접근을 허용하여, 출판사/학술단체 등의 사이트에서 이용 가능한 논문
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.