$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

전해 Cu Via-Filling 도금에서 염소이온이 가속제와 억제제에 미치는 영향
Effects of Chloride Ion on Accelerator and Inhibitor during the Electrolytic Cu Via-Filling Plating 원문보기

한국표면공학회지 = Journal of the Korean institute of surface engineering, v.46 no.4, 2013년, pp.158 - 161  

유현철 (한국산업기술대학교 신소재공학과) ,  조진기 (한국산업기술대학교 신소재공학과)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

Recently, the weight reduction and miniaturization of the electronics have placed great emphasis. The miniaturization of PCB (Printed Circuit Board) as main component among the electronic components has also become progressed. The use of acid copper plating process for Via-Filling effectively forms ...

주제어

AI 본문요약
AI-Helper 아이콘 AI-Helper

문제 정의

  • 본 논문에서 억제제는 PEG(polyethylene glycol), 가속제는 SPS(bis(3-sulfopropyl) disulfide)를 사용하였다. 염소이온, 억제제 및 가속제의 첨가량 비율에 따른 도금액을 galvanostat를 통해 정전류를 가하여 전압변화를 관찰하였으며, 또한 전해 Cu Via-Filling을 하여 비아 홀 단면관찰을 통해 염소이온과 각 첨가제들간의 첨가비율에 따라 염소이온이 억제제와 가속제에 미치는 영향에 대하여 연구하였다.
본문요약 정보가 도움이 되었나요?

질의응답

핵심어 질문 논문에서 추출한 답변
전자기기 부품중에서 핵심적인 부품은? 전자기기 부품중에서 핵심적인 부품인 PCB (Printed Circuit Board) 또한 소형화가 진행되고 있다. 소형화를 위해서는 다층 구조로 이루어진 PCB 의 회로간 연결 및 부품탑재를 위한 비아(Via) 홀이 필요하다.
전해 Cu 비아충진 도금방법의 문제점은? 비아 홀을 충진하는 방법중 전해 Cu 도금 방법이 다른 충진 방법에 비해 저렴하고 양산이 용이하여, 비아 홀 충진에 가장 널리 사용되고 있다2). 그러나 전해 Cu 비아충진 도금방법은 도금중 비아 홀 입구 막힘 현상으로 인하여 비아 내부에 void나 seam 등과 같은 결함이 생성된다3,4). 이러한 결함들이 발생하지 않게 하기 위한 Bottom-up Via-Filling에 대한 연구가 많이 진행되고 있다4,5).
전해 Cu Via-Filling 도금에서 염소이온이 억제제와 가속제에 미치는 영향연구의 결과는? (1) 염소이온은 PEG의 억제효과에 영향을 미치고, Via-Filling 후 단면관찰 결과 억제효과는 두 첨가제 간의 비율에 관계가 있는 것으로 확인되었다. (2) 염소이온은 potential 측정 및 Via-Filling 단면 관찰결과 SPS의 가속효과에 미미한 영향을 미치는 것으로 확인되었다. (3) PEG와 SPS 두 가지를 첨가한 용액에서 ViaFilling 후 단면관찰 결과에서도 염소이온은 SPS의가속효과에 큰 영향을 미치지 않았으며, 염소이온과 PEG의 특정한 비율에서 억제효과가 유지 되는 것이 확인되었다.
질의응답 정보가 도움이 되었나요?

참고문헌 (8)

  1. R. Kim, J. K. Park, Y. C. Chu, J. P. Jung, Kor. J. Met. Mater., 48 (2010) 667. 

  2. M. Lefebvre, G. Allardyce, M. Seita, H, Tsuchida, M. Kusaka, S. Hayashi, Circuit World, 29 (2003) 9. 

  3. W. P. Dow et al. Electrochimica Acta, 53 (2008) 3612. 

  4. S. S. Ko, J. Y. Lin, Y. Y. Wang, C. C. Wan, Thin Solid Films, 516 (2008) 5046. 

  5. M. E. Huerta Garrido, M. D. Pritzker, J. Electrochem. Soc., 155 (2008) D332. 

  6. K. Zou, H. Ling, Q. Li, H. Cao. ICEPT-HDP, (2009) 104. 

  7. W. P. Dow, M.-Y. Yen, C.-W. Liu, C.-C. Huang, Electrochimica Acta, 53 (2008) 3612. 

  8. W. P. Dow, M.-Y. Yen, S.-Z. Liao, Y.-D. Chiu, H.-C. Huang, Electrochimica Acta, 53 (2008) 8231. 

저자의 다른 논문 :

섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로