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NTIS 바로가기한국생산제조시스템학회지 = Journal of the Korean Society of Manufacturing Technology Engineers, v.22 no.5, 2013년, pp.831 - 836
정윤준 (Department of Advanced Parts and Materials Engineering, Chosun University) , 박정우 (Department of Mechanical Design Engineering, Chosun University)
This study demonstrates the process of fabricating patterns using tribonanolithography (TNL),with laboratory-made micro polycrystalline diamond (PCD) tools that are attached to an atomic force microscope (AFM). The various patterns are easily fabricated using mechanical scratching, under various nor...
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Dai, H., Hafner, J. H., Rinzler, A. G., Colbert, D. T., Smalley, R. E., 1996, Nanotubes as Nanoprobes in Scanning Probe Microscopy, Nature, 384 147-150.
Yavas, O., Ochiai, C., Takai, M., Hosono, A., Okuda S., 2000, Maskless Fabrication of Field-Emitter Array by Focused Ion and Electron Beam, Appl. Phys. Lett., 76 3319-3321.
Park, J. W., Morita, N., Lee. D. W., 2010, Micro/Nano Surface Modification on Brittle Materials by Tribo Nanolithography Using PCD Tool, Nanotechnology, 10 4440-4447.
Kawasegi, N., Takano, N., Oka, D., Morita, N., Yamada, S., Kanda, K., Takano, s., Obata, T. Asida, K., 2006, Nanomachining of Silicon Surface Using Atomic Force Microscope with Diamond Tip, J. Manuf. Sci. Eng., 128 723-729.
Park, J. W., Lee, D. W., Kawasegi, N., Morita, N., 2004, Mechanical approach to nanomachining of silicon using oxide characteristics based on tribo nanolithography (TNL) in KOH Solution, J. Manuf. Sci. Eng.-Trans. ASME, 124 801-806.
Kim, S. H., Park, J. W., 2012, AFM Based Mechano- Chemical Hybrid Surface Modification Process on PR-Coated Silicon Wafer, Adv. Sci. Lett, 13 193-198.
Park, J. W., Lee, C. M., Choi, S. C., Kim, Y. W., Lee, D. W., 2008, Surface Patterning for Brittle Amorphous Material Using Nanoindenter-based Mehanochemical Nanofabrication, Nanotechnology, 19 85301-85305.
Lee, J. M., Park, J. W., 2012, Inter Electrode Gap in Pulse Electrochemical Process for Local Oxidation of (100) Si Wafer, Advanced Science Letters, 13 62-65.
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