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NTIS 바로가기한국결정성장학회지 = Journal of the Korean crystal growth and crystal technology, v.24 no.6, 2014년, pp.252 - 255
김선태 (부산대학교 나노융합기술학과) , 김태규 (부산대학교 나노메카트로닉스공학과) , 조현 (부산대학교 나노메카트로닉스공학과) , 김진곤 (부산대학교 나노메카트로닉스공학과)
Indium tin oxide (ITO) films with various oxygen partial pressure from 0 to
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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PET 기판 위에 제작된 ITO 박막이 낮은 결정성과 낮은 전기 전도도를 가지게 되는 이유는? | 그러나 고품질 ITO 박막을 얻기 위해서는 ITO의 높은 결정성이 요구되며, 결정성을 향상시키기 위해 200도 이상의 높은 공정 온도를 필요로 한다[8]. PET는 유리 전이 온도가 낮아 공정 온도를 높일 수 없기 때문에 PET 기판 위에 우수한 특성을 가지는 ITO를 제작하는 것은 어렵다[9]. 이로 인해 PET 기판 위에 제작된 ITO 박막은 낮은 결정성과 낮은 전기 전도도를 가지게 된다. | |
ITO는 어떤 특성이 우수한가? | ITO(indium tin oxide)는 전기저항이 낮고 가시광 영역에서 광투과도가 매우 우수하여[1, 2], 평면 디스플레 이와 광전 소자 등에 투명 전도성 재료로 널리 사용되고 있다[3, 4]. 최근에 플렉시블 전자 산업 분야에 대한 관심이 높아짐에 따라 플라스틱 기판 위에 고품질 ITO 박막을 제작하고자 하는 연구도 활발히 이루어지고 있다 [5-7]. | |
PET는 주로 어느 기판으로 사용하는가? | 최근에 플렉시블 전자 산업 분야에 대한 관심이 높아짐에 따라 플라스틱 기판 위에 고품질 ITO 박막을 제작하고자 하는 연구도 활발히 이루어지고 있다 [5-7]. 플라스틱 기판으로 다양한 폴리머가 사용되고 있지만, 높은 광투과도와 우수한 기계적 성질 그리고 상대적으로 낮은 가격 때문에 PET(polyethylene terephthalate) 가 플렉시블 기판으로 주로 사용되고 있다. 그러나 고품질 ITO 박막을 얻기 위해서는 ITO의 높은 결정성이 요구되며, 결정성을 향상시키기 위해 200도 이상의 높은 공정 온도를 필요로 한다[8]. |
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오픈액세스 학술지에 출판된 논문
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