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NTIS 바로가기한국광학회지 = Korean journal of optics and photonics, v.25 no.1, 2014년, pp.8 - 13
By using finite ray-tracing and curve fitting, a numerical method to determine the non-paraxial pupil function of a high-NA objective is presented. MTF degradations caused by the non-paraxial diffraction effect are analyzed for on-axial imaging of a far-infrared objective and aberration-free ellipso...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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현대의 첨단산업은 어떤 기술을 기반으로 하고 있는가? | 이 때문에 광학계의 설계에서 광학수차와 회절효과를 고려한 MTF의 분석은 매우 중요한 업무 중의 하나이다. 현대의 첨단산업은 초정밀 가공과 초정밀 검사기술을 기반으로 하고 있고, 이를 뒷받침하기 위하여 높은 개구수(numerical aperture, NA)를 가지는 고해상 대물렌즈계가 각종 검사장비에 널리 사용되고 있다. 사진광학계와 같이 개구수가 작은 전통적인 결상광학계에서는 출사동에서 균일한 진폭분포를 가진 구면파가 상면으로 회절하는 것으로 가정하는 근축 회절이론(paraxial diffraction theory)[1]으로도 회절이 광학계의 해상력에 주는 영향을 충분히 평가할 수 있고, 통상적인 광학설계에서는 근축 회절이론에서 주어지는 회절한계(diffraction limit)를 광학계의 사양결정에 참고하고 있다. | |
광학계의 이론적 해상력은 어떤 요소에의해 제한되는가? | 광학계의 이론적 해상력은 광학수차와 회절에 의하여 제한된다. 이 때문에 광학계의 설계에서 광학수차와 회절효과를 고려한 MTF의 분석은 매우 중요한 업무 중의 하나이다. | |
광학수차와 회절효과를 고려한 MTF의 분석이 매우 중요한 업무 중 하나인 이유는? | 광학계의 이론적 해상력은 광학수차와 회절에 의하여 제한된다. 이 때문에 광학계의 설계에서 광학수차와 회절효과를 고려한 MTF의 분석은 매우 중요한 업무 중의 하나이다. |
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