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플렉시블 디스플레이용 박막 도포를 위한 초정밀 슬롯다이 코팅장비
High-Precision Slot-Die Coating Machine for Thin Films of Flexible Display 원문보기

한국정밀공학회지 = Journal of the Korean Society for Precision Engineering, v.31 no.6, 2014년, pp.491 - 495  

최영만 (한국기계연구원 인쇄전자연구실) ,  이승현 (한국기계연구원 인쇄전자연구실) ,  조정대 (한국기계연구원 인쇄전자연구실)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

We developed a compact high-precision slot-die coating machine for thin-film deposition on a flexible substrate. For smooth and precise coating, air-bearing and linear motor system were employed to minimize velocity ripple. The gap control mechanism is specially designed to have repeatability of gap...

주제어

#슬롯다이코팅   #속도제어   #정밀기계  

AI 본문요약
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성능/효과

  • The searched positions of both z-axes are shown in Fig. 6. Z1 axis and Z2 axis show a mean error of 0.26 ㎛ and 0.23 ㎛, and a standard deviation of 0.062 ㎛ and 0.084 ㎛, respectively. Thus, we may conclude that the origin calibration process has an accuracy less than 1 ㎛.
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참고문헌 (10)

  1. Faircloth, T., Innocenzo, J., and Lang, C., "43.3: Slot Die Coating for OLED Displays," SID 08 DIGEST, pp. 645-647, http://onlinelibrary.wiley.com/doi/10.18-89/1.3069746/pdf (Accessed 27 May 2014) 

  2. Perez, E. B. and Carvalho, M. S., "Optimization of Slot-coating Processes: Minimizing the Amplitude of Film-thickness Oscillation," J. Eng. Math, Vol. 71, No. 1, pp. 91-108, 2011. 

  3. Chin, C. P., Wu, H. S., and Wang, S. S., "Improved Coating Window for Slot Coating," Industrial & Engineering Chemistry Research, Vol 49, No. 8, pp. 3802-3809, 2010. 

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  4. Ruschak, K. J., "Limiting Flow in a Pre-metered Coating Devices," Chemical Engineering Science, Vol. 31, No. 11, pp. 1057-1060, 1976. 

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  9. Chang, Y. R., Chang, H. M., Lin, C. F., Liu, T. J., and Wu, P. Y., "Three Minimum Wet Thickness Regions of Slot Die Coating," Vol. 208, No. 1, pp. 222-230, 2007. 

  10. Krebs, F. C., Gevorgyan, S. A., and Alstrup, J., "A Roll-to-roll Process to Flexible Polymer Solar Cells: Model Studies, Manufacture and Operational Stability Studies," Journal of Materials Chemistry, Vol. 19, No. 30, pp. 5442-5451, 2009. 

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